[发明专利]用于热的和非热的组织效应的可变频率激励等离子体设备

权利要求书

1.一种等离子体系统，包括：

等离子体仪器，包括：

细长主体，限定在所述细长主体中通过的管腔；以及

第一电极和第二电极；

可离子化介质源，与所述管腔流体地连通并被配置为向所述管腔提供可离子化介质；以及

可变频率能量源，适于耦接至所述第一电极和所述第二电极，以及被配置为向所述第一电极和所述第二电极供应足以激发由所述可离子化介质源供应的可离子化介质的能量，以生成等离子体流出物，其中所述能量的频率能够被调整以修改所述等离子体流出物的至少一个属性。

2.如权利要求1所述的等离子体系统，其中所述可变频率能量源或所述等离子体仪器中的至少一个包括用于调整所述频率的控制件。

3.如权利要求1所述的等离子体系统，其中所述可离子化介质源适于耦接至所述可变频率能量源。

4.如权利要求3所述的等离子体系统，其中所述可变频率能量源被配置为基于来自所述可离子化介质源的所述可离子化介质的流速调整所述频率。

5.如权利要求1所述的等离子体系统，其中所述等离子体仪器包括耦接至所述细长主体的远端的施用器尖端。

6.如权利要求5所述的等离子体系统，其中所述施用器尖端限定与所述细长主体的所述管腔流体地连通的第二管腔。

7.如权利要求6所述的等离子体系统，其中所述第一电极被布置在所述施用器尖端的外表面上。

8.如权利要求7所述的等离子体系统，其中所述第二电极被布置在所述细长主体的所述管腔或所述第二管腔中的至少一个内。

9.如权利要求1所述的等离子体系统，其中所述频率能够被调整至第一频率和高于所述第一频率的第二频率，其中所述等离子体流出物在所述第一频率下处于第一温度，而所述等离子体流出物在所述第二频率下处于高于所述第一温度的第二温度。

10.如权利要求1所述的等离子体系统，其中所述能量源包括：

非共振射频输出级，被配置为输出激励波形；以及

控制器，耦接至所述非共振射频输出级，所述控制器被配置为逐周期地调整所述激励波形的所述频率。

11.如权利要求10所述的等离子体系统，其中所述非共振射频输出级包括：

DC-DC降压转换器，被配置为输出DC波形，所述DC-DC降压转换器包括以第一占空比操作的至少一个第一开关元件。

12.如权利要求11所述的等离子体系统，其中所述非共振射频输出级还包括：

DC-AC升压转换器，耦接至所述DC-DC降压转换器并且包括以第二占空比操作的至少一个第二开关元件，所述DC-AC升压转换器被配置为转换所述DC波形以生成所述激励波形。

13.如权利要求12所述的等离子体系统，其中所述控制器被耦接至所述DC-DC降压转换器和所述DC-AC升压转换器，以及所述控制器还被配置为调整所述第二占空比以调整所述激励波形的所述占空比。