[发明专利]硬质皮膜被覆部件及冶金工具以及靶在审
| 申请号： | 201410842104.7 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104674163A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 山本兼司;哲曼·福克斯-莱比诺比齐 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬质 皮膜 被覆 部件 冶金 工具 以及 | ||
1.一种硬质皮膜被覆部件，其在基材上具备硬质皮膜，其特征在于，
所述硬质皮膜的组成由(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)构成，且所述R为选自Ho、Sm、Dy中的一种以上的元素，或者所述R由La和选自Ho、Sm、Dy中的一种以上的元素构成，在所述a、b、c、d、e、f、y、z为原子比时，满足
0.05≤a≤0.3
0.05≤b≤0.3
0.4≤c≤0.65
0≤d≤0.05
0≤e≤0.05
0.005≤f≤0.05
a+b+c+d+e+f＝1
0≤y≤0.3
0.7≤z≤1
y+z＝1。
2.一种硬质皮膜被覆部件，其在基材上具备硬质皮膜，其特征在于，
所述硬质皮膜的组成由(TiaCrbAlcSidYeRfHfg)(CyNz)构成，且所述R为选自Ho、Sm、Dy中的一种以上的元素，或者所述R由La和选自Ho、Sm、Dy中的一种以上的元素构成，在所述a、b、c、d、e、f、g、y、z为原子比时，满足
0.05≤a≤0.3
0.05≤b≤0.3
0.4≤c≤0.6
0≤d≤0.05
0≤e≤0.05
0.005≤f≤0.05
0＜g≤0.35
a+b+c+d+e+f+g＝1
0≤y≤0.3
0.7≤z≤1
y+z＝1。
3.一种冶金工具，其特征在于，具有权利要求1或权利要求2所述的硬质皮膜被覆部件。
4.一种靶，其用于通过电弧离子镀敷工艺形成硬质皮膜，其特征在于，
以所述硬质皮膜中的组成比含有权利要求1或权利要求2所述的硬质皮膜中所含的金属元素及稀土元素。
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