[发明专利]一种氮唑类化合物在提高化学机械抛光液稳定性中的应用有效
| 申请号： | 201410842141.8 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105802508B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 陈宝明;高嫄;荆建芬;蔡鑫元;张健;宋凯;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮唑类 化合物 提高 化学 机械抛光 稳定性 中的 应用 | ||
【权利要求书】：
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