[发明专利]铝合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铝合金靶材，其特征在于所述的铝合金靶材的纯度为99.99-99.9999％，平均粒径为1-100微米，相对密度为99-100％，内部孔洞最大尺寸为0.1-2mm的每平方米为0-50个。

2.根据权利要求1所述的铝合金靶材，其特征在于所述的合金元素为镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥、钪或钇中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的铝合金靶材，其特征在于所述的合金元素的元素含量为铝合金靶材总质量的0.1-20wt％。

4.一种权利要求1-3任一所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤如下：

(1)将铝锭和金属合金切割成细条，然后表面超声波清洗，烘干，称量装炉，将炉体抽真空至0.01Pa级，氧化铝坩埚升温，真空中频感应熔炼，停电、铜质水冷模浇铸铸锭，随炉冷，破真空取锭；

(2)高温消除铸造应力并成分均匀化退火处理，保温，然后铝合金锭表面车削扒皮、切头部缩孔；

(3)加热至300-600℃，热锻打至厚度15-30mm，温度低于350℃时需再度加热；

(4)加热至300-500℃，轧制处理，温度低于350℃时需再度加热；

(5)进行去应力退火，然后机加工获得指定尺寸的铝合金靶材产品；

(6)对靶材进行超声无损探伤，测量其成分、纯度、晶粒大小、密度参数。

5.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤(1)中所述的升温至800-1000℃。

6.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤(2)中所述的退火温度为200-400℃。

7.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤(2)中所述的保温时间2-5小时。

8.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤(3)中所述的锻打温度为350-460℃。

9.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤(4)中所述的轧制的道次变形率为10-30％，轧制温度为350-420℃。

10.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于步骤(5)中所述的退火温度为200-400℃，退火时间为2-5小时。