[发明专利]一种多芯片三维混合封装结构及其制备方法有效
申请号: | 201410843215.X | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104600056B | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 马利;王虎 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56 |
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地址: | 710018 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 三维 混合 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种多芯片三维混合封装结构,其特征在于,主要由下层芯片(3)、芯片凸点(4)、下层塑封体(5)、电路层(6)、粘片胶(7)、上层芯片(8)、焊线(9)、上层塑封体(10)和电极(12)组成;所述下层塑封体(5)包封下层芯片(3),下层芯片(3)正面朝上,下层芯片(3)带有的芯片凸点(4)露出下层塑封体(5)的表面;下层塑封体(5)表面布线形成有电路层(6),电路层(6)的走线区域通过粘片胶(7)粘贴有上层芯片(8),焊线(9)连接上层芯片(8)与电路层(6),上层塑封体(10)包封上层芯片(8)、电路层(6)和焊线(9);下层塑封体(5)有通孔(11),通孔(11)上部是电路层(6)的电极金属,通孔(11)填充有金属,形成电极(12)。
2.根据权利要求1所述的一种多芯片三维混合封装结构,其特征在于,下层芯片(3)的上表面和芯片凸点(4)之间由下层塑封体(5)包封,芯片凸点(4)通过贴膜塑封的方式露出下层塑封体(5)表面10um。
3.根据权利要求1所述的一种多芯片三维混合封装结构,其特征在于,下层芯片(3)是一个或多个相同厚度的芯片。
4.根据权利要求1所述的一种多芯片三维混合封装结构,其特征在于,上层芯片(8)是一个或多个正装芯片打线焊接。
5.一种多芯片三维混合封装结构的制备方法,其特征在于,其按照以下步骤进行:
步骤一:在载具(1)上涂贴片胶层(2),将带有芯片凸点(4)的下层芯片(3)正面朝上贴于载具(1)上;
步骤二:将下层芯片(3)塑封于下层塑封体(5)中,下层芯片(3)的芯片凸点(4)露出下层塑封体(5)表面;
步骤三:在下层塑封体(5)表面布线,可以选用电镀、溅射或直接印刷铜箔方式形成中间电路层(6);
步骤四:在电路层(6)的走线区域涂粘片胶(7),将上层芯片(8)贴于粘片胶(7)上,通过焊线(9)完成上层芯片(8)与电路层(6)的电气连接;
步骤五:将上层芯片(8)、电路层(6)及焊线(9)包封于上层塑封体(10)中,同时通过研磨或蚀刻方式去除下层载具(1)和贴片胶层(2);
步骤六:在下层塑封体(5)的相应位置开通孔(11),露出中间电路层(6)的电极金属区域;
步骤七:在通孔(11)通过注入金属,引出相应电极(12)。
6.根据权利要求5所述的一种多芯片三维混合封装结构的制备方法,其特征在于,所述步骤一的载具(1)是长方形或者圆形;载具(1)材质为玻璃、有机胶膜、硅片或金属。
7.根据权利要求5或者6所述的一种多芯片三维混合封装结构的制备方法,其特征在于,所述步骤五的载具(1)若选用金属,载具(1)可作为散热片保留。
8.根据权利要求5所述的一种多芯片三维混合封装结构的制备方法,其特征在于,所述步骤六的开通孔(11)方式为机械开孔或激光开孔。
9.根据权利要求5所述的一种多芯片三维混合封装结构的制备方法,其特征在于,所述步骤七通过植球、锡膏印刷、电镀、化学镀或溅射铜方式引出电极(12)。
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