[发明专利]一种蓝宝石微缺陷无损检测装置在审
申请号: | 201410843379.2 | 申请日: | 2015-08-04 |
公开(公告)号: | CN104502363A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 喻更生;周益春;邓谋栋;林建国 | 申请(专利权)人: | 湘潭大学 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 湘潭市汇智专利事务所(普通合伙) 43108 | 代理人: | 颜昌伟 |
地址: | 411205*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 缺陷 无损 检测 装置 | ||
1.一种蓝宝石微缺陷无损检测装置,其特征在于,包括光路检测系统和缺陷信息分析系统;其中所述光路检测系统包括:激光器、分光镜和放置蓝宝石样品的载物工作平台;所述缺陷信息分析系统包括:高清CCD1、高清CCD2、高清CCD3、A/D转换器1、A/D转换器2、A/D转换器3和计算机;激光器、分光镜和蓝宝石样品固定在光路直线导轨上的同一个水平面上;所述激光器发出的激光经分光镜分成两路:参考光和入射光,所述高清CCD1采集参考光的光信号并通过A/D转换器1将光信号转换为数字信号传输到计算机;所述入射光照射蓝宝石样品后分为透射光和散射光,所述高清CCD2采集透射光的光信号并通过A/D转换器2将电信号转换成数字信号传输到计算机进行图像处理和光强分析;所述高清CCD3采集散射光的光信号并通过A/D转换器3将电信号转换成数字信号传输到计算机。
2.如权利要求1所述的蓝宝石微缺陷无损检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括能触发高清CCD1和高清CCD2同步对参考光和透射光进行采集的同步触发器。
3.如权利要求1所述的蓝宝石微缺陷无损检测装置,其特征在于,所述激光器为输出功率连续可调的脉冲激光器。
4.如权利要求1所述的蓝宝石微缺陷无损检测装置,其特征在于,所述载物工作平台可在二维平面移动。
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