[发明专利]一种改善MUF工艺基板外围溢料的基板及其制造方法在审
申请号: | 201410843756.2 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104485312A | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 陈文钊;于大全;谌世广;刘卫东 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/13 | 分类号: | H01L23/13 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710018 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 muf 工艺 外围 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及微电子封装技术领域,具体是一种改善MUF工艺基板外围溢料的基板及其制造方法。
背景技术
随着FlipChip封装技术的日渐成熟,塑封采用MUF工艺对bump区域进行填充,由于MUF工艺采用填充颗粒很小的塑封料,一般小于20um,这样不可避免的造成塑封过程中基板外围产生溢料,影响塑封自动出料及后面工序的自动上下料,导致UPH低下。虽然现有一种通过改变模具设计,在垂直于外围排气槽设计一排缓冲区域来减少溢料,但不可避免的要投资新模具,并且模具设计的这个凹槽清模困难,很容易造成塑封料残留,影响排气效果,造成排气不畅。在产品外形上模具的凹槽位置对应的基板位置形成了一个条状凸起,后面工序的进出料系统必须改造,需要资金投入。
发明内容
本发明是基于基板设计来改善MUF工艺溢料问题,通过在基板外围排气槽位置设计一条垂直于排气槽的凹槽,使得溢料部分留在基板凹槽内,不扩散到基板外围,并且凹槽内的溢料与基板向平,从而不影响自动上下料,本发明无需投资,可以在基板设计之初设计这个凹槽,也可以利用激光对来料的基板进行凹槽处理。
一种改善MUF工艺基板外围溢料的基板,由基板和基板凹槽组成,所述基板凹槽在基板的外沿面的内侧。
所述凹槽深度大于20um,宽度大于20um。
一种改善MUF工艺基板外围溢料的基板的制造方法,在基板的外沿面的内侧制作基板凹槽。
附图说明
图1为基板上带有凹槽的主视图;
图2为基板上带有凹槽的右视图。
图中,1为基板,2为基板凹槽。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的描述。
如图1和图2所示,一种改善MUF工艺基板外围溢料的基板,由基板1和基板凹槽2组成,所述基板凹槽2在基板1的外沿面的内侧。
所述基板凹槽2深度大于20um,宽度大于20um。
一种改善MUF工艺基板外围溢料的基板的制造方法,在基板1的外沿面的内侧制作基板凹槽2。
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