[发明专利]一种动态配气仪及配气方法

权利要求书

1.一种动态配气仪，其特征在于，包括原料气通路、稀释气通路和混合管道，所述原料气通路和稀释气通路均与所述混合管道连通，所述原料气通路上设有第一流量控制器，所述稀释气通路上设有第二流量控制器，所述第二流量控制器通过一号控制阀分别与所述第一流量控制器及混合管道连接。

2.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述第一流量控制器的入口并联有若干原料气接入支路，所述若干原料气接入支路的每条支路上均设有电磁阀，用以控制相应的原料气通入所述第一流量控制器。

3.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述一号控制阀为一进两出的三通阀，其进口与所述第二流量控制器连接，出口分别连接所述第一流量控制器和混合管路。

4.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述一号控制阀为两个二位二通电磁阀组成，所述第二流量控制器通过其中一个二位二通电磁阀与所述混合管道连接，所述第二流量控制器通过另一个二位二通电磁阀与所述第一流量控制器连接。

5.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述混合管道为两进一出的三通管，其两个进口分别连接所述原料气通道和稀释气通道，出口为目标气出气口。

6.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述第一流量控制器与第二流量控制器均采用层流差压式测量原理的流量控制器，其内部均自带温度和压力补偿。

7.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述原料气通路上设有一进两出的三通阀，其进口与第一流量控制器连接，其中一个出口连接所述混合管道，另一出口为排气口。

8.一种采用如权利要求1所述的动态配气仪进行的配气方法，其特征在于，包括以下程序：

计算初始流量，根据原料气浓度S₁、目标气浓度C₁和目标气总流量的参数，计算所需稀释气的流量为N₁，原料气的流量为G₁；

自清洁程序，关闭所述原料气的接入，接通所述一号控制阀，稀释气依次沿所述第二流量控制器、一号控制阀和第一流量控制器流通，进行自清洁；

自校准程序，设置所述第二流量控制器的控制量为满量程N，设置第一流量控制器的流量N₁，其中，N₁小于N，稀释气按上述自清洁程序的通路流通，当所述第一流量控制器和第二流量控制器示值稳定后，记录第二流量控制器的流量示值为N₂，N₂与N₁成线性拟合关系；

混合配气程序，在所述自校准程序后，控制所述第一流量控制器的控制量为G₁，控制所述第二流量控制器的控制量为N₂，原料气通过所述第一流量控制器，进入所述混合管路中，稀释气依次通过所述第二流量控制器和一号控制阀，进入所述混合管路中，所述原料气与所述稀释气混合，得到目标气，由N₁/G₁正比于S₁/C₁的关系计算能得到目标气浓度C₁。