[发明专利]一种彩色滤光片基板的制作方法在审
申请号: | 201410844602.5 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104678639A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 薛景峰;陈归 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G02B5/20;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;武岑飞 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 彩色 滤光 片基板 制作方法 | ||
1.一种彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于,包括步骤:
提供一基板(10);
在所述基板(10)上形成遮光部分(12);
在所述基板(10)上形成彩色滤光片,其中,所述彩色滤光片包括彩色部分(14)及开口部分(16);
在所述基板(10)上覆盖平坦层(18),且所述平坦层(18)填入所述开口部分(16);
对所述平坦层(18)进行光刻;
在经光刻后的平坦层(18)上形成间隔体(24)。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在经光刻后的平坦层(18)上形成间隔体(24)之前,在经光刻后的平坦层(18)上形成透明电极层(22),再在所述透明电极层(22)上形成间隔体(24)。
3.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,所述平坦层(18)为透明负光阻层。
4.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,对所述平坦层(18)进行光刻是利用半色调光罩(20)对所述平坦层(18)进行曝光,再对经曝光后的平坦层(18)进行显影,以使经显影后的平坦层(18)的表面平整。
5.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,对所述平坦层(18)进行光刻是利用灰阶光罩(26)对所述平坦层(18)进行曝光,再对经曝光后的平坦层(18)进行显影,以使经显影后的平坦层(18)的表面平整。
6.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,所述彩色部分(14)包括红色、绿色及蓝色。
7.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,所述遮光部分(12)的材料为金属铬或黑色树脂。
8.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,所述彩色部分(14)是利用旋涂涂布方式在所述基板(10)表面形成红色光阻,再以曝光显影的方式,留下红色光阻在红色的像素预定区中,并去除其余位置的红色光阻。
9.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述彩色部分(14)还包括以同样的方式依序形成绿色光阻和蓝色光阻。
10.根据权利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,所述间隔体(24)通过涂布负光阻材料,再经过一黄光制程而形成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司;,未经深圳市华星光电技术有限公司;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410844602.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种无边框LCD显示装置
- 下一篇:一种显示面板和显示装置