[发明专利]一种同时采用MEMS平动与扭转微镜的微型傅里叶红外光谱仪有效
| 申请号： | 201410850183.6 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105890758B | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 徐晓轩;李昊宇;王斌;叶坤涛;郭振龙 | 申请（专利权）人： | 南开大学;江西理工大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平动 微镜 扭转微镜 傅里叶红外光谱仪 抗震性 磁感应方式 干涉仪系统 微型干涉仪 弹簧振动 高稳定性 主干涉仪 转动惯量 静电 干涉仪 高重复 扭力梁 无摩擦 摆动 转动 驱动 融合 | ||
【权利要求书】：
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