[发明专利]自适应沟槽的调焦调平装置及其方法

权利要求书

1.一种自适应沟槽的调焦调平装置，用于测量被测物体的高度和倾斜度，该装置包括沿光路依次设置的照明单元、投影单元、被测物体、探测单元及探测器，所述投影单元包括投影狭缝，用于在被测物体上形成若干个测量点，每个测量点包括若干个测量子光斑，其特征在于，若干个所述测量子光斑以不等间距排列的方式设置，使得当有测量子光斑落入沟槽时，根据探测器探测到的测量子光斑的光斑间距来识别有效的测量子光斑，从而测量被测物体的高度和倾斜度。

2.如权利要求1所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，所述测量子光斑的大小大于所述沟槽的宽度。

3.如权利要求1所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，每个所述测量点包括3个或4个或5个测量子光斑。

4.如权利要求1所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，每个所述测量点中第一个测量子光斑和最后一个测量子光斑之间的距离不等于沟槽周期的倍数。

5.如权利要求4所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，相邻测量子光斑的间距不等于沟槽周期的倍数。

6.如权利要求1所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，任意两个测量子光斑的间距都不等于沟槽周期的倍数。

7.如权利要求1所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，所述沟槽的周期为2mm，每个测量点包括3个测量子光斑，相邻测量子光斑的间距分别为1.5和1mm。

8.如权利要求1所述的自适应沟槽的调焦调平装置，其特征在于，所述照明单元依次包括光源和光源透镜组；所述投影单元依次包括投影狭缝、投影前组透镜组、投影反射镜组和投影后组透镜组；所述探测单元依次包括探测前组透镜组、探测反射镜组和探测后组透镜组；探测单元和探测器之间还包括中继单元，所述中继单元依次包括中继反射镜和中继透镜组。

9.一种自适应沟槽的调焦调平方法，其特征在于，包括以下步骤：调焦调平装置在被测物体表面形成若干个测量点，每个测量点包括若干个不等间距排列的测量子光斑，将载物运动台移动到初始位置，通过调焦调平装置探测所述测量子光斑，当有测量子光斑落入沟槽时，根据调焦调平装置探测到的测量子光斑的光斑间距识别有效的测量子光斑，从而测量被测物体的高度和倾斜度。

10.如权利要求9所述的自适应沟槽的调焦调平方法，其特征在于，当有测量子光斑落入沟槽时，通过调整承载被测物体的载物运动台，改变测量子光斑投射在被测物体表面的位置以规避沟槽。

11.如权利要求10所述的自适应沟槽的调焦调平方法，其特征在于，调整承载被测物体的载物运动台的调整方法为使载物运动台在水平方向上移动，移动距离等于1/10至1/2沟槽水平方向的分布周期；使载物运动台在垂直方向上移动，移动距离等于1/10至1/2沟槽垂直方向的分布周期。