[发明专利]一种光刻胶组合物

权利要求书

1.一种光刻胶组合物，包含：

(1)一种或多种树脂，以光刻胶组合物的固体组分总重量为基准计，存在于组合物中的树脂的量为70到95wt％，其中固体组分指光刻胶组合物中除溶剂之外的组分；

(2)式(I)表示的化合物：

其中R₁-R₁₂独立地表示卤素、C₁-C₂₀直连或支链烷基、C₃-C₃₀环状烃基或C₂-C₂₀烯基，或者R₁-R₁₁中的两个或更多个结合起来形成含氮杂环；Y是抗衡阴离子；

(3)溶剂。

2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，以光刻胶组合物的固体组分总重量为基准计，式(I)化合物的含量通常为0.01-10重量％，优选0.05-8重量％，更优选0.1-5重量％。

3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于树脂选自包括下述通式(I)、(II)和(III)的单元的树脂：

其中R₁是(C₁-C₃)烷基；R₂是(C₁-C₃)亚烷基；L₁是内酯基；n是1或2。

4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于树脂为

5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于所述溶剂为光刻胶领域的常规溶剂，包括例如：酮，例如丙酮，甲基乙基酮，甲基异丁基酮，环己酮，异佛尔酮，甲基异戊酮，2-庚酮4-羟基，和4-甲基-2-戊酮；C₁至C₁₀脂族醇，例如甲醇，乙醇，和丙醇；含有芳香基的醇，例如苯甲醇；环状碳酸酯，例如碳酸亚乙酯和碳酸亚丙酯；脂族或芳香族烃(例如，己烷，甲苯，二甲苯，等等)；环醚，例如二烷和四氢呋喃；乙二醇；丙二醇；己二醇；乙二醇单烷基醚，例如乙二醇单甲醚，乙二醇单乙醚；乙二醇烷基醚乙酸酯，例如甲基溶纤剂乙酸酯和乙基溶纤剂乙酸酯；乙二醇二烷基醚，例如乙二醇二甲醚，乙二醇二乙醚，乙二醇甲基乙醚，二甘醇单烷基醚，例如二甘醇单甲醚，二甘醇单乙醚，和二甘醇二甲醚；丙二醇单烷基醚，例如丙二醇甲醚，丙二醇乙醚，丙二醇丙醚，和丙二醇丁醚；丙二醇烷基醚乙酸酯，例如丙二醇甲醚乙酸酯，丙二醇乙醚乙酸酯，丙二醇丙醚乙酸酯，和丙二醇丁醚乙酸酯；丙二醇烷基醚丙酸酯，例如丙二醇甲醚丙酸酯，丙二醇乙醚丙酸酯，丙二醇丙醚丙酸酯，和丙二醇丁醚丙酸酯；2-甲氧基乙基醚(二甘醇二甲醚)；具有醚和羟基部分两者的溶剂，例如甲氧基丁醇，乙氧基丁醇，甲氧基丙醇，和乙氧基丙醇；酯，例如乙酸甲酯，乙酸乙酯，乙酸丙酯，和乙酸丁酯丙酮酸甲酯，丙酮酸乙酯；2-羟基丙酸乙酯，2-羟基2-甲基丙酸甲酯，2-羟基2-甲基丙酸乙酯，甲基羟基乙酸酯，乙基羟基乙酸酯，丁基羟基乙酸酯，乳酸甲酯，乳酸乙酯，乳酸丙酯，乳酸丁酯，3-羟基丙酸甲酯，3-羟基丙酸乙酯，3-羟基丙酸丙酯，3-羟基丙酸丁酯，甲基2-羟基3-甲基丁酸，甲基甲氧基乙酸酯，乙基甲氧基乙酸酯，丙基甲氧基乙酸酯，丁基甲氧基乙酸酯，甲基乙氧基乙酸酯，乙基乙氧基乙酸酯，丙基乙氧基乙酸酯，丁基乙氧基乙酸酯，甲基丙氧基乙酸酯，乙基丙氧基乙酸酯，丙基丙氧基乙酸酯，丁基丙氧基乙酸酯，甲基丁氧基乙酸酯，乙基丁氧基乙酸酯，丙基丁氧基乙酸酯，丁基丁氧基乙酸酯，2-甲氧基丙酸甲酯，2-甲氧基丙酸乙酯，2-甲氧基丙酸丙酯，2-甲氧基丙酸丁酯，2-乙氧基丙酸甲酯，2-乙氧基丙酸乙酯，2-乙氧基丙酸丙酯，2-乙氧基丙酸丁酯，2-丁氧基丙酸甲酯，2-丁氧基丙酸乙酯，2-丁氧基丙酸丙酯，2-丁氧基丙酸丁酯，3-甲氧基丙酸甲酯，3-甲氧基丙酸乙酯，3-甲氧基丙酸丙酯，3-甲氧基丙酸丁酯，3-乙氧基丙酸甲酯，3-乙氧基丙酸乙酯，3-乙氧基丙酸丙酯，3-乙氧基丙酸丁酯，3-丙氧基丙酸甲酯，3-丙氧基丙酸乙酯，3-丙氧基丙酸丙酯，3-丙氧基丙酸丁酯，3-丁氧基丙酸甲酯，3-丁氧基丙酸乙酯，3-丁氧基丙酸丙酯，和3-丁氧基丙酸丁酯；氧基异丁酸酯，例如，甲基-2-羟基异丁酸酯，α-甲氧基异丁酸甲酯，甲氧基异丁酸乙酯，α-乙氧基异丁酸甲酯，α-乙氧基异丁酸乙酯，β-甲氧基异丁酸甲酯，β-甲氧基异丁酸乙酯，β-乙氧基异丁酸甲酯，β-乙氧基异丁酸乙酯，β-异丙氧基异丁酸甲酯，β-异丙氧基异丁酸乙酯，β-异丙氧基异丁酸异丙酯，β-异丙氧基异丁酸丁酯，β-丁氧基异丁酸甲酯，β-丁氧基异丁酸乙酯，β-丁氧基异丁酸丁酯，α-羟基异丁酸甲酯，α-羟基异丁酸乙酯，α-羟基异丁酸异丙酯，和α-羟基异丁酸丁酯；具有醚和羟基部分两者的溶剂，例如甲氧基丁醇，乙氧基丁醇，甲氧基丙醇，和乙氧基丙醇；及其它溶剂，例如二元酯，和γ-丁内酯；酮醚衍生物，例如双丙酮醇甲醚；酮醇衍生物，例如丙酮醇或双丙酮醇；内酯，例如丁内酯；酰胺衍生物，例如二甲基乙酰胺或二甲基甲酰胺，苯甲醚，和其混合物。