[发明专利]一种热色智能膜及其制备方法

权利要求书

1.一种热色智能膜，其特征在于，在衬底(1)上依次为第一介质层(2)、氧化钒膜层(5)、第一阻挡层(6)、第二阻挡层(7)、第二介质层(8)，所述第一阻挡层(6)为金属氧化物膜、金属氮化物膜或金属氮氧化物膜，第二阻挡层(7)为金属膜且选自NiCr、Cr、Ti、Ni、Ni合金、Cr合金中至少一种材料；所述金属氧化物膜、金属氮化物膜或金属氮氧化物膜，所对应的金属选自NiCr、Ni、Cr、Ti、Ni合金、Cr合金中至少一种。

2.如权利要求1所述的热色智能膜，其特征在于，第一介质层(2)与氧化钒膜层(5)之间还设置有第一阻挡层(4)，或者还设置有第二阻挡层(3)和第一阻挡层(4)。

3.如权利要求1所述的热色智能膜，其特征在于，在第二介质层(8)上还设置至少一个重复单元，所述重复单元为由第一阻挡层、氧化钒膜层、第一阻挡层、第二阻挡层、第二介质层依次层叠组成。

4.如权利要求1～3任一所述的热色智能膜，其特征在于，所述第一阻挡层厚度为1nm～15nm。

5.如权利要求1～3任一所述的热色智能膜，其特征在于，所述第二阻挡层的厚度为1nm～10nm。

6.如权利要求1～3任一所述的热色智能膜，其特征在于，所述氧化钒膜层(5)由厚度为30nm～150nm的VOx组成，1.75≤x≤2.15。

7.如权利要求6所述的热色智能膜，其特征在于，氧化钒膜层(5)为掺杂的氧化钒膜，掺杂元素选自W、Mo、Nb、Zn、Mg、F以及其它能够改变热色智能膜相变温度的材料，掺杂质量百分比为0.5％～10％。

8.如权利要求1～3任一所述的热色智能膜，其特征在于第一介质层和第二介质层为厚度30～150nm的氧化物、氮化物或氮氧化物，选自SixNy、SiOx、TiOx、Nb₂O₅、ZrO₂、SnO₂、ZnO₂、SiNO、ZnSnO₂中的一种或多种。

9.一种如权利要求1所述的热色智能膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

a.提供衬底(1)；

b.采用真空磁控溅射方法在衬底(1)上依次沉积第一介质层(2)、氧化钒膜层(5)、第一阻挡层(6)、第二阻挡层(7)以及第二介质层(8)，其中第一阻挡层(6)与第二阻挡层(7)采用不同的靶材溅射，第一阻挡层(6)为金属氧化物、金属氮化物或金属氮氧化物，第二阻挡层(7)为金属膜层；

c.对镀膜后的衬底进行退火处理。

10.如权利要求9所述的制备方法，其特征在于，步骤c中的退火处理选自红外辐射灯管退火、闪光灯退火、激光退火或钢化退火中的任一种。