[发明专利]干式蚀刻机及用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种干式蚀刻机及一种用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置。

背景技术

干式蚀刻机沿着气体流动方向依次包括蚀刻装置、能够从蚀刻装置内抽出气体的抽风装置和能够净化抽风装置排出的气体的尾气处理装置，以及用于把各装置依次连接起来的管道。

该干式蚀刻机的蚀刻装置对特殊的待蚀刻对象、例如掺有金属的低温多晶硅层(即阵列基板的半导体活性层)进行干法蚀刻时会产生带有大量磁性颗粒的气体。该磁性颗粒的主要成分包括三氯化铝(化学式为AlCl₃)和钼的氯化物(化学式为MoCl_x)。

在干式蚀刻机频繁使用后，磁性颗粒会在抽风装置的内部出现沉积，大幅度地降低抽风装置的抽风效率和使用寿命。同时，磁性颗粒还会在管道的拐角处和缩颈处进行堆积，影响管道内气体的顺畅性。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的是提供了一种干式蚀刻机，其能够避免磁性颗粒在抽风装置的内部进行沉积，从而提升抽风装置的抽风效率和使用寿命。同时，本发明的目的是还提供了一种用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置，其能够有效地捕集气体中的磁性颗粒。

本发明提供了一种干式蚀刻机，其包括能够产生带有磁性颗粒的气体的蚀刻装置和能够从蚀刻装置内抽出气体的抽风装置，以及设置在蚀刻装置与抽风装置之间的用于捕集气体中的磁性颗粒的捕集装置。捕集装置包括具有进口和出口的壳体，以及设置在壳体内的磁性过滤单元。磁性过滤单元与壳体之间，和/或磁性过滤单元内形成有与进口和出口均连通的通道。其中，磁性过滤单元构造成当气体流经通道时，能够吸附气体内的磁性颗粒。

在一个实施例中，磁性过滤单元内的通道呈螺旋形或涡旋形。

在一个实施例中，磁性过滤单元包括多个依次套接的磁性套，通道包括形成在磁性套间的多个环形间隙，以及设置在各磁性套上的用于连通各环形间隙的开口，相邻的开口彼此错开。

在一个实施例中，在壳体内设有过滤芯，过滤芯包括贴合于壳体的内壁的第一表面和设于第一表面上并与出口相连的盲孔，以及与通道相接的且具有多个凹槽的第二表面。

在一个实施例中，捕集装置还包括能够对磁性过滤单元进行散热的散热机构。

在一个实施例中，磁性过滤单元由磁性纤维材料制成。

在一个实施例中，所述干式蚀刻机还包括与能够净化所述抽风装置排出的气体的尾气处理装置。

本发明还提供了一种用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置，其包括具有进口和出口的壳体，以及设置在壳体内的磁性过滤单元。其中，磁性过滤单元与壳体之间和/或磁性过滤单元内形成有与进口和出口均连通的通道，磁性过滤单元构造成当气体流经通道时，能够吸附气体内的磁性颗粒。

在一个实施例中，磁性过滤单元内的通道呈螺旋形或涡旋形。

在一个实施例中，磁性过滤单元包括多个依次套接的磁性套，通道包括形成在磁性套间的多个环形间隙，以及设置在各磁性套上的用于连通各环形间隙的开口，相邻的开口彼此错开。

在一个实施例中，在壳体内设有过滤芯，过滤芯包括贴合于壳体的内壁的第一表面和设于第一表面上并与出口相连的盲孔，以及与通道相接的且具有多个凹槽的第二表面。

在一个实施例中，捕集装置还包括能够对磁性过滤单元进行散热的散热机构。

在一个实施例中，磁性过滤单元由磁性纤维材料制成。

根据本发明的干式蚀刻机能够通过其捕集装置捕集气体内的磁性颗粒，由此可以避免磁性颗粒进入到抽风装置内进行沉积，从而提高抽风装置的抽风效率和使用寿命。同时，该捕集装置还能够避免磁性颗粒进入到处于捕集装置下游的管道和尾气处理装置内，由此可以避免磁性颗粒堵塞下游的管道和尾气处理装置，尤其是避免堵塞管道内的拐角处和缩颈处。

另外，根据本发明的干式蚀刻机和捕集装置的结构简单、装配容易，使用安全，便于实施推广应用。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是根据本发明的干式蚀刻机的结构示意图；

图2是根据本发明的干式蚀刻机的捕集装置的纵向剖视图；以及

图3是根据本发明的干式蚀刻机的捕集装置的横向剖视图。

在附图中相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。