[发明专利]掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法

权利要求书

1.一种掩模传输装置，其特征在于，包括：

取放版机械手(3)，用于从版盒(1)中取出掩模(2)，并承载所述掩模(2)移动；

定位对准装置(4)，用于将所述掩模(2)与掩模台(5)对准；

双重制动装置(7)，用于异常情况时对所述取放版机械手(3)制动；

所述取放版机械手(3)包括升降轴(3-1)，所述双重制动装置(7)包括电机电磁制动装置和导轨气动制动装置，所述电机电磁制动装置和所述导轨气动制动装置均与所述升降轴(3-1)连接；

所述导轨气动制动装置包括控制器、失效检测传感器(7-5)和气动式制动器(7-6)，所述失效检测传感器(7-5)和所述气动式制动器(7-6)均与所述控制器信号连接；所述气动式制动器(7-6)通过导向装置(7-7)与所述升降轴(3-1)连接；所述失效检测传感器(7-5)外部设有传感器挡片(7-8)，所述传感器挡片(7-8)用于挡住所述失效检测传感器(7-5)；所述传感器挡片(7-8)与传动装置(12)接触连接。

2.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述定位对准装置(4)包括：

机械定位装置(4-1)，用于将所述掩模(2)初步定位；

光学预定位对准装置(4-2)，用于计算对准结果，将所述掩模(2)与所述掩模台(5)光学对准；

交换版机械手(4-3)，用于携带所述掩模(2)移动，将所述掩模(2)与所述掩模台(5)对准。

3.根据权利要求2所述的掩模传输装置，其特征在于，所述交换版机械手(4-3)上设有版叉(4-4)。

4.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述电机电磁制动装置包括第一电磁式制动器(7-1)和第二电磁式制动器(7-2)；所述第一电磁式制动器(7-1)通过电机(7-3)与所述升降轴(3-1)连接，所述第二电磁式制动器(7-2)通过丝杠(7-4)与所述升降轴(3-1)连接。

5.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述导向装置(7-7)是导轨或者导向杆。

6.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述传动装置(12)包括主动轮(12-1)和从动轮(12-2)，所述主动轮(12-1)与所述从动轮(12-2)之间连接有同步带(12-3)，所述传感器挡片(7-8)通过弹簧(7-9)与所述同步带(12-3)接触连接。

7.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括掩模颗粒检测装置(8)，所述掩模颗粒检测装置(8)用于检测所述掩模(2)的颗粒污染。

8.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括缓存台(9)，所述缓存台(9)用于放置已曝光的所述掩模(2)。

9.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于，所述掩模传输装置包括版库(10)和版盒搬运装置(11)，所述版库(10)用于储存所述版盒(1)；所述版盒搬运装置(11)用于将所述版盒(1)搬送至所述版库(10)内。

10.根据权利要求9所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版库(10)内设有用于装载所述版盒(1)的版槽(10-1)，所述版槽(10-1)内设有缓冲器(10-2)。

11.根据权利要求10所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版盒(1)通过定位件(10-3)在所述版槽(10-1)内定位。

12.根据权利要求9所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版库(10)上设有版盒异常检测装置，所述版盒异常检测装置与所述取放版机械手(3)信号连接。

13.根据权利要求12所述的掩模传输装置，其特征在于，所述版盒异常检测装置包括：

版盒存在检测传感器(10-4)，用于检测所述版盒(1)是否存在；

掩模存在检测传感器(10-5)，用于检测所述掩模(2)是否存在；

版盒到位检测传感器(10-6)，用于检测所述版盒(1)是否到位；

版盒前盖突出检测传感器(10-7)，用于检测所述版盒(1)的前盖是否突出。