[发明专利]一种硅片边缘保护装置

权利要求书

1.一种硅片边缘保护装置，其特征在于，包括：

水平运动机构；

垂直运动机构；

调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；

柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；

控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动；

还包括碰撞信号检测及保护机构，用于检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构的振动信号，并根据振动信号发出报警信号和保护信号；所述碰撞信号检测及保护机构与所述控制装置信号连接，所述控制装置接收报警信号和保护信号，根据报警信号和保护信号，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。

2.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述水平运动机构包括：

固定盘；

三偏心凸轮盘，所述三偏心凸轮盘通过轴承固定在所述固定盘上方，所述三偏心凸轮盘上均匀设置若干个偏心槽；

水平方向气缸，所述水平方向气缸一端与所述固定盘连接，另一端与所述三偏心凸轮连接；

凸轮随动器，所述凸轮随动器设置在所述三偏心凸轮盘的偏心槽内；

保护爪，所述保护爪嵌在所述固定盘中，所述保护爪一端与所述凸轮随动器固定连接，另一端用于抓取或释放保护环。

3.根据权利要求2所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述水平方向气缸通过第一铰轴与所述固定盘连接，通过第二铰轴与所述三偏心凸轮连接。

4.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述垂直运动机构上端固定连接有垂直方向固定组件，所述垂直运动机构下端通过转接板组件与所述柔性防撞机构连接。

5.根据权利要求4所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述垂直运动机构是垂直方向气缸。

6.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述调速装置是设置在气源上的伺服阀。

7.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述柔性防撞机构包括柔性片和用于对所述柔性片限位的限位机构，所述柔性片与所述垂直运动机构连接，所述柔性片与所述水平运动机构固定连接。

8.根据权利要求7所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述柔性片通过转接板组件与所述垂直运动机构连接。

9.根据权利要求8所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述限位机构包括至少两个限位杆，所述两个限位杆的底部均与所述水平运动机构固定连接，所述限位杆从下至上依次贯穿所述柔性片和所述转接板组件，所述限位杆上端设有锁紧螺母。

10.根据权利要求9所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述限位杆均匀设置在所述柔性片周围。

11.根据权利要求9所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述限位杆上端套有限位垫圈。

12.根据权利要求8至11任意一项所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述柔性片呈圆形，所述柔性片至少一个表面设有围成一圈的若干个筋条；所述筋条围成的圈内侧的柔性片与所述转接板组件固定连接，所述筋条围成的圈外侧的柔性片与所述水平运动机构固定连接。

13.根据权利要求12所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述筋条围成的圈外侧设有一圈外孔，所述筋条围成的圈内侧设有内孔；所述柔性片的外孔处通过螺钉与所述转接板组件固定连接；所述柔性片的内孔处通过螺钉与所述水平运动机构固定连接。

14.根据权利要求12所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述筋条呈伞形状。

15.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述碰撞信号检测及保护机构包括至少一个碰撞检测传感器，所述碰撞检测传感器与所述水平运动机构以及所述垂直运动机构信号连接。

16.根据权利要求15所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述碰撞检测传感器通过传感器支架固定在所述硅片边缘保护装置上。