[发明专利]用于油浸包装中表面电荷抗扰的MEMS压力传感器场屏蔽布置

权利要求书

1.一种压力感测元件，该压力感测元件包括置于隔膜上的感测子元件，所述压力感测元件包括：

场屏蔽件，该场屏蔽件置于所述感测子元件、接触通孔以及互连件之上，所述互连件置于所述感测子元件与所述接触通孔之间，

以及场屏蔽电路，该场屏蔽电路被构造成用以通过对所述隔膜的基底以及所述场屏蔽件施加电势而在操作期间显著消除外部电荷对所述感测子元件的影响。

2.根据权利要求1所述的压力感测元件，其中，所述感测子元件包括至少一个压阻元件。

3.根据权利要求1所述的压力感测元件，其中，所述感测子元件被嵌入到所述隔膜中。

4.根据权利要求1所述的压力感测元件，其中，在所述场屏蔽件与所述感测子元件之间设置有层。

5.根据权利要求4所述的压力感测元件，其中，所述层包括钝化层。

6.根据权利要求1所述的压力感测元件，其中，所述场屏蔽件能够被构造成用以显著消除所述压力感测元件内的信号泄漏。

7.根据权利要求1所述的压力感测元件，其中，所述场屏蔽件借助于沉积和光刻布置在所述感测子元件之上。

8.根据权利要求1所述的压力感测元件，其中，外部电荷源包括油以及围绕所述压力感测元件的其他部件二者至少其中之一，所述压力感测元件至少部分地浸入到所述油中。

9.一种用于制造压力感测元件的方法，该方法包括：

选择压力感测元件，所述压力感测元件包括置于隔膜上的子元件；以及

将场屏蔽件置于所述子元件、接触通孔和互连件之上，所述互连件置于所述子元件与所述接触通孔之间，将所述场屏蔽件构造成用以通过场屏蔽电路的操作来在操作期间显著消除外部电荷对所述子元件的影响，所述场屏蔽电路被构造成用以向所述隔膜的基底和所述场屏蔽件施加电势。

10.根据权利要求9所述的方法，该方法进一步包括在所述场屏蔽件与所述子元件之间设置层。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，构造步骤包括利用金属的或导电的合成物覆盖所述互连件、所述接触通孔以及所述子元件以限制外部电荷的影响。

12.一种压力传感器，该压力传感器包括：

压力感测元件，该压力感测元件包括置于隔膜上的感测子元件，所述压力感测元件包括置于所述感测子元件、接触通孔及互连件之上的场屏蔽件，所述互连件置于所述感测子元件与所述接触通孔之间，所述场屏蔽件被构造成用以通过场屏蔽电路的操作来在操作期间显著消除外部电荷对所述感测子元件的影响，所述场屏蔽电路被构造成用以向所述隔膜的基底和所述场屏蔽件施加电势；以及

端口，该端口用于将所述压力感测元件暴露于压力环境。

13.根据权利要求12所述的压力传感器，该压力传感器包括另一端口和另一压力感测元件。

14.根据权利要求13所述的压力传感器，其中，所述隔膜的顶侧和所述端口的背侧通过储油器联接。

15.根据权利要求13所述的压力传感器，其中，差压的测量跨越在约0.2巴至1巴之间的范围。

16.根据权利要求13所述的压力传感器，该压力传感器被构造成用于测量横跨文丘里流动管上的差压。

17.根据权利要求13所述的压力传感器，该压力传感器被构造成用于测量质量空气流。