[实用新型]一种干泵排气管道的消音装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及消音装置技术领域，更具体地说，特别涉及一种干泵排气管道的消音装置。

背景技术

在晶圆Fab工厂中，真空系统是芯片制程中相当重要和复杂的一个环节，包括了反应腔室、真空管道、前级泵、干泵、尾气管等，其中的干泵则是提供真空最常用的设备；一般在芯片制程中，对不同的工艺其真空度的要求也不一样，所需求的干泵也不一样，因而尾气管道的口径要求也不一样（例如有的管道比较脏，需要大口径真空管道以防止堵塞，甚至需要管道加热，有的比较干净，不需要从泵出口变径接排风管道）；这样在FAB工厂能看到各种规格的干泵和各个口径的真空管道；因此就会出现部分尾气管口径相对于干泵的出口过大，再加一个转接头,就形成一个“喇叭口”，当干泵开启的时候，就会发出犹如摩托车启动时“咚！咚！咚”的声音，更甚者会与厂务的排风管道形成共振，影响厂房的安全。故而，理想的解决方案就是加装一个干泵排气管道的消音装置。现有技术中有采用一段不锈钢波纹管进行消音，但是效果不太理想，而且波纹管在长时间使用后容易漏气，具有安全隐患；如使用干泵厂家提供的选配配件消音器，需要针对不同型号的干泵配备的有不同的消音器，大大增加了使用成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种减小噪音且能避免发生共振现象的干泵排气管道的消音装置。

为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为：一种干泵排气管道的消音装置，包括筒体，设于筒体内的隔音装置，所述隔音装置将筒体内部的腔体分割为第一腔室和第二腔室，所述隔音装置上还安装有连通第一腔室和第二腔室的第一消音管，所述筒体的两端分别安装有进口法兰和出口法兰，所述进口法兰和出口法兰分别位于第一腔室和第二腔室的一侧，所述进口法兰通过一第三消音管与第二腔室连通，所述出口法兰通过一第二消音管与第一腔室连通。

根据本实用新型的一优选实施例：所述隔音装置包括第一隔音板和第二隔音板，所述第一隔音板和第二隔音板均设于筒体的内部，所述第一消音管设于第一隔音板上，所述第二消音管通过第一隔音板与第一腔室连通，所述第三消音管通过第二隔音板与第二腔室连通。

根据本实用新型的一优选实施例：所述筒体的一端成型有封头法兰，另一端为封口结构，所述封头法兰的外侧安装有第一封头板，所述第一封头板和封头法兰之间还设有密封圈，其中，所述出口法兰设于第一封头板的一端，所述进口法兰设于筒体封口的一端。

根据本实用新型的一优选实施例：所述筒体的一端成型有封头法兰，另一端为开口结构，所述封头法兰的外侧安装有第一封头板，所述第一封头板和封头法兰之间还设有密封圈，所述开口结构上安装有第二封头板，其中，所述出口法兰设于第一封头板的一端，所述进口法兰设于第二封头板的一端。

根据本实用新型的一优选实施例：所述筒体的第一腔室内安装有第一减速板，所述第一减速板上均匀的设有若干第一减速孔；所述筒体的第二腔室内安装有第二减速板，所述第二减速板上均匀的设有若干第二减速孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型采用隔音装置将筒体分割成两个腔室，同时将进口法兰和出口法兰分别通过消音管与相对的腔室连通，再将两个腔室通过消音管连通，可使通入的气流形成回流，极大的降低了噪音，同时还能避免与厂务端的排风管道相连后发生共振现象。

附图说明

图1为本实用新型的干泵排气管道的消音装置实施例一的结构图。

图2为本实用新型的干泵排气管道的消音装置实施例二的结构图。

图3为本实用新型图2中A-A处剖视图。

图4为本实用新型图2中B-B处剖视图。

附图标记说明：1、进口法兰，2、第一隔音板，3、第一消音管，4、筒体，5、封头法兰，6、密封圈，7、第一封头板，8、出口法兰，9、第二消音管，10、固定部件，11、第二隔音板，12、第三消音管，13、第二封头板，14、第一减速板，15、第二减速板。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例一：