[实用新型]铸造大重量硅锭的硅锭炉

权利要求书

1.一种铸造大重量硅锭的硅锭炉，包括石英坩埚（2）、加热器（3）、隔热挡板（4）、散热窗口（5）、隔热层（6）、石墨护板（8）和石墨底板（9），其特征在于隔热层（6）内壁上覆盖有反射保护层（7）；所述反射保护层（7）为光面石墨纸，反射保护层（7）的厚度为3-5mm，反射保护层（7）底沿边缘高于坩埚底表面，石墨纸上沿低于加热器；

还包括散热台（1），散热台（1）位于石墨底板（9）下部；

所述石英坩埚（2）的高度为540±5mm；

所述石墨护板（8）下部为栅栏状，包括多个栅条（10）。

2.根据权利要求1所述的铸造大重量硅锭的硅锭炉，其特征在于所述栅条（10）的宽度D为5-100mm。

3.根据权利要求1所述的铸造大重量硅锭的硅锭炉，其特征在于所述多个栅条（10）之间的间距L为5-100mm。

4.根据权利要求1所述的铸造大重量硅锭的硅锭炉，其特征在于所述栅条（10）的高度H为100-350mm。