[实用新型]一种漂洗水循环系统

权利要求书

1.一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述漂洗水循环系统与蚀刻液设备内的漂洗室连接；

所述漂洗室内分隔有第一、第二、第三清洗间，三个所述清洗间内均设置有用于将清洗液喷向产品的清洗喷头；

所述漂洗水循环系统包括一电-电渗析器、一电渗析器及一渗透器；

所述电-电渗析器包括第三阴极室、第三阳极室，及置于第三阴极室和第三阳极室之间的第三中间室，所述电渗析器包括第四阳极室、第四阴极室，及置于第四阴极室和第四阳极室之间的第四中间室；

所述第三中间室入口与第一清洗间出口通过管路连接，第三中间室的出口与第一清洗间的入口连接，所述第三阳极室与第三阴极室与蚀刻液再生系统通过管路连接；

所述电渗析器的第四阳极室、第四中间室和第四阴极室入口均与第一清洗间的出口通过管路连接，第四阳极室、第四中间室和第四阴极室出口与第一清洗间的进口连接，所述电渗析器的第四中间室入口与第二清洗间的第一出口连接，中间室出口与第二清洗间的第一入口连接；

所述渗透器的入口与第二清洗间的第二出口连接，渗透器的浓缩液出口与第二清洗间的第二入口连接，渗透器的清水出口与第三清洗间的入口连接。

2.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第四中间室内设置有浓缩液，所述浓缩液指第一清洗间内的溶液。

3.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述电-电渗析器和电渗析器中阴极室的宽度大于等于7cm。

4.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述蚀刻液再生系统包括反应器及与所述反应器连接的电解槽；

所述反应器包括一个预溢流室及第一、第二、第三溢流室，所述蚀刻液从预溢流室流出后按序进入三个溢流室；

所述电解槽内设有A隔间和B隔间，所述A隔间包括第一阳极室、中间室、第一阴极室；所述第一阳极室和中间室之间设有阳离子膜，所述中间室和第一阴极室之间设有阴离子膜；所述B隔间包括第二阳极室和第二阴极室；    

所述电解槽还包括第一缓存槽和第二缓存槽，所述第一缓存槽的入口与所述预溢流室连接，所述第一缓存槽的出口与所述第一溢流室连接，所述第一缓存槽还与所述电解槽内的第一阴极室和第二阴极室连通，所述第一阳极室与第二缓存槽连通，所述中间室与第二溢流室连通，所述第二阳极室与第一溢流室连通；

所述反应器与电解槽之间还设有气体管路并将两者连接起来，所述第三溢流室的出口连接于所述蚀刻机内的蚀刻液池或蚀刻液喷头；

所述第三阳极室与第三阴极室的入口与第一缓存槽的出口通过管路连接，第三阳极室与第三阴极室的出口与第一缓存槽的入口连接。

5.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第三阳极室和第三中间室之间设有仅限阴离子从所述第三中间室进入到第三阳极室内的阳离子膜，所述第三中间室和第三阴极室之间设有仅限阳离子从所述第三中间室进入到第三阴极室内的阴离子膜。

6.如权利要求1所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第四阳极室和第四中间室之间设有仅限阳离子从所述第四阳极室进入到第四中间室内的阴离子膜，所述第四中间室和第四阴极室之间设有仅限阴离子从所述第四阴极室进入到第四中间室内的阳离子膜。

7.如权利要求6所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述第四中间室内设置有至少两组相互间隔设置的阴阳离子膜。

8.如权利要求4所述的一种漂洗水循环系统，其特征在于：所述电-电渗析器第三阳极室和第三阴极室内的溶液与第一缓存槽内进行循环的溶液为蚀刻液。