[实用新型]一种新型真空电子束熔炼炉有效
申请号: | 201420005431.2 | 申请日: | 2014-01-04 |
公开(公告)号: | CN203768482U | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 王建军;康朝阳;单继周;闫海洋 | 申请(专利权)人: | 登封电厂集团铝合金有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;C01B33/037 |
代理公司: | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人: | 白洁 |
地址: | 45247*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 电子束 熔炼炉 | ||
1.一种新型真空电子束熔炼炉,包括炉体以及设置于炉体上的进料装置和单晶拉制装置,其特征在于,所述炉体上壁从左至右依次设置有第一电子枪、第二电子枪、第三电子枪、第四电子枪,第一电子枪、第二电子枪、第三电子枪、第四电子枪的下方对应设置有第一水冷坩埚、第二水冷坩埚、第三水冷坩埚、结晶坩埚,第一水冷坩埚、第二水冷坩埚、第三水冷坩埚、结晶坩埚依次连接并呈阶梯状排列,结晶坩埚套设于结晶坩埚下方设置的石墨坩埚中,石墨坩埚下方设置有坩埚上升旋转机构;所述进料装置的出料口设置于第一水冷坩埚的上方,单晶拉制装置设置于结晶坩埚的上方。
2.根据权利要求1所述的新型真空电子束熔炼炉,其特征在于,所述单晶拉制装置为直拉法单晶装置。
3.根据权利要求1所述的新型真空电子束熔炼炉,其特征在于,所述进料装置为螺旋式硅料输送机。
4.根据权利要求1~3任一所述的新型真空电子束熔炼炉,其特征在于,所述炉体的左右两侧分别密封设置有前盖、后盖,后盖上还设置有抽真空装置。
5.根据权利要求4所述的新型真空电子束熔炼炉,其特征在于,所述炉体为圆柱形或方形。
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