[实用新型]一种制备铁电薄膜的装置有效
| 申请号： | 201420005653.4 | 申请日： | 2014-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN203674268U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡铜祥;杨晓伟;刘岸春 | 申请（专利权）人： | 江苏悦达墨特瑞新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/31 | 分类号： | H01L41/31 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 高玉珠 |
| 地址： | 224007 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 薄膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备铁电薄膜的装置，其特征在于，包括杯型玻璃瓶、单晶硅片、滤纸和透明塑料薄膜，杯型玻璃瓶的底部垫有滤纸，杯型玻璃瓶的开口处用透明塑料薄膜密封，透明塑料薄膜上设有排气孔；单晶硅片置放在杯型玻璃瓶中的滤纸上。
2.如权利要求1所述的一种制备铁电薄膜的装置，其特征在于，所述滤纸为低速滤纸、中速滤纸或者高速滤纸。
3.如权利要求1所述的一种制备铁电薄膜的装置，其特征在于，所述透明塑料薄膜上的排气孔均匀分布，排气孔的直径为0.1~1mm。
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