[实用新型]用于化学浸泡的固定装置有效
申请号: | 201420006356.1 | 申请日: | 2014-01-06 |
公开(公告)号: | CN203707102U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 王坤 | 申请(专利权)人: | 航天科工防御技术研究试验中心 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李弘;陈安平 |
地址: | 100085*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 化学 浸泡 固定 装置 | ||
1.一种用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,包括载物台和固定于所述载物台上的固定杆,所述固定杆与调节支撑杆的一端活动连接,所述调节支撑杆的另一端与支杆活动连接,所述支杆的一端安装有用于固定工装夹具的紧固部件,该工装夹具用于夹住待浸泡器件。
2.根据权利要求1所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述固定杆基本垂直于载物台。
3.根据权利要求2所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述调节支撑杆的一端开有第一通孔,所述固定杆插入第一通孔中,第一螺栓从该端的顶部螺接至第一通孔中,用于将调节支撑杆固定于固定杆上。
4.根据权利要求3所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述调节支撑杆的另一端开有第二通孔,所述支杆插入第二通孔中,第二螺栓从该端的顶部螺接至第二通孔中,用于将支杆固定于调节支撑杆上。
5.根据权利要求1所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述固定杆与支杆基本平行设置。
6.根据权利要求1所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述紧固部件的底端开有第三通孔,第三螺栓螺接至第三通孔中,用于将工装夹具固定于第三通孔中。
7.根据权利要求6所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述工装夹具为镊子。
8.根据权利要求6所述的用于化学浸泡的固定装置,其特征在于,所述紧固部件的顶端开有第四通孔,第四螺栓螺接至第四通孔中,用于将支杆的端部固定于第四通孔中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造