[实用新型]干、湿分离的晶圆移载装置

权利要求书

1.一种干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，包括有：

多轴向进给机构；

固定框座，固定连结于多轴向进给机构，该固定框座上设有多个第一拾取器，以拾取移载第一种型态的晶圆；

活动框座，与固定框座叠设，该活动框座上设有多个与第一拾取器错位设置的第二拾取器，以拾取移载第二种型态的晶圆；

升降驱动源，固设于固定框座上，该升降驱动源的驱动杆则连结于活动框座，以带动该活动框座升降位移。

2.根据权利要求1所述的干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，该多轴向进给机构是于第二轴向架置机轨，并于该机轨上设有第一滑座，该第一滑座于第三轴向架置有滑轨，并于该滑轨上设有第二滑座，固定框座固定连结于该第二滑座上，使该固定框座能够作第二轴向和第三轴向的进给移动。

3.根据权利要求1所述的干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，该固定框座是于四个边角处分别设有第一拾取器。

4.根据权利要求1所述的干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，该活动框座叠设于固定框座的下方，并以弯折板架设第二拾取器，使第二拾取器设置的位置高于第一拾取器。

5.根据权利要求1所述的干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，该升降驱动源为压缸。

6.根据权利要求1所述的干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，该第一拾取器拾取移载第一种型态的晶圆，为呈干燥型态的晶圆。

7.根据权利要求1所述的干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，该第二拾取器拾取移载第二种型态的晶圆，为呈潮湿型态的晶圆。