[实用新型]一种高洁净微环境系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种高洁净微环境系统，属于空气净化装置领域。

背景技术

近年来随着半导体、生物制药、平板显示、航空航天、精密仪器等发展，产品不断的升级换代和生产工艺的革新，更加的精密化和微型化，也对生产环境的洁净级别提出了更高的要求，传统的洁净室已不能完全满足当今洁净环境的要求。

现有的高洁净级别的洁净室投入成本高，建设周期长，运行管理费用高；而洁净工作台不能满足操作人员在内部操作的要求。

引证的文献：

1、国内实用新型专利，授权公告号：CN203240682U，授权公告日：2013.10.16

2、国内实用新型专利，授权公告号：CN203297165U，授权公告日：2013.11.20

3、国内实用新型专利，授权公告号：CN203163096U，授权公告日：2013.08.28

4、国内实用新型专利，授权公告号：CN203155244U，授权公告日：2013.08.28

5、国内实用新型专利，授权公告号：CN203147939U，授权公告日：2013.08.21

6、国内发明专利，申请公布号：CN103272445A，授权公告日：2013.09.04。

实用新型内容

为了提供高精度，高精密化微型化的洁净系统，本实用新型涉及一种高洁净微环境系统，系统包括空气净化处理系统、隔离装置和排风口，进风口为空气净化处理系统，主体形状为长方体的腔室，长方体的腔室由铝塑板和有机玻璃组成，与上句重复空气净化处理系统为模块化的风机过滤单元，风机过滤单元中腔室下方有均流膜。

该系统进一步包括空气净化处理系统和隔离装置，进风口为空气净化处理系统，主体形状为长方体的腔室；

进风口上方设置所述气态分子污染控制(AMC)化学过滤器；

所述单元腔室内设置有至少一个风机模块；

并在风机模块下方设置聚四氟乙烯(PTFE)超高效过滤器；

所述单元腔室下方设置加压腔室和出风面设置均流膜；

最下方有隔离装置围挡或连接生产设备。

本实用新型智能化程度高，灵活性大，成本低，寿命长。

附图说明

通过参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例，本实用新型的以上和其它方面及优点将变得更加易于清楚，在附图中：

图1为本实用新型的高洁净微环境系统示意图；

图2为本实用新型的一种高洁净微环境系统的基本模块结构示意图；

图3为本实用新型的一种高洁净微环境系统的顶进风设计图；

图4为本实用新型的一种高洁净微环境系统的侧进风设计图；

图5为本实用新型的一种高洁净微环境系统的温控湿控设计图。

具体实施方式

在下文中，现在将参照附图更充分地描述本实用新型，在附图中示出了各种实施例。然而，本实用新型可以以许多不同的形式来实施，且不应该解释为局限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例使得本公开将是彻底和完全的，并将本实用新型的范围充分地传达给本领域技术人员。

在下文中，将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。

本新型是一种新型高洁净微环境系统，应用在一般洁净室内的关键操作区域，可根据关键操作区域具体情况调整面积大小，移动方便，多种模块可选等显著优点，满足于实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求。

洁净微环境系统是依据空气洁净原理，开发的单向流空气洁净系统，是指通过气流将一定空间内之空气中的微粒子、污染气体、细菌等之污染物排除。并将空间内之温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及静电控制在需求范围内，创造一个可受控的洁净环境，保证精密化生产和提高产品质量的一项综合性技术。