[实用新型]GaN基UV探测传感器有效
申请号: | 201420009212.1 | 申请日: | 2014-01-07 |
公开(公告)号: | CN203800065U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 黄慧诗;郭文平;柯志杰;邓群雄;闫晓密 | 申请(专利权)人: | 江苏新广联科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/108 | 分类号: | H01L31/108;H01L31/0304;H01L31/0224 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;刘海 |
地址: | 214192 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | gan uv 探测 传感器 | ||
1.一种GaN基UV探测传感器,包括衬底(1),其特征是:在所述衬底(1)上表面依次设置U-GaN层(2)、AlGaN层(3)和N型GaN层(4),在N型GaN层(4)上表面分别设置欧姆电极(5)和肖特基电极(6)。
2.如权利要求1所述的GaN基UV探测传感器,其特征是:所述欧姆电极(5)为Ti/Al/Ti/Au金属层。
3.如权利要求1所述的GaN基UV探测传感器,其特征是:所述肖特基电极(6)的材质为金属Pt。
4.如权利要求1所述的GaN基UV探测传感器,其特征是:所述欧姆电极(5)与肖特基电极(6)之间存在一定距离。
5.如权利要求1所述的GaN基UV探测传感器,其特征是:所述衬底(1)为蓝宝石衬底。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的