[实用新型]一种匀胶机的CUP外壳清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型属于LED外延衬底图形制造领域，特别是涉及一种匀胶机的CUP外壳清洗装置。

背景技术

目前LED外延衬底图形制造最重要的一环为光刻工艺，光刻工艺用以定义图形，光刻工艺的步骤为涂胶，曝光，显影；其中涂胶就是在干净的晶圆表面涂一层厚度均匀的光刻胶薄膜，为后段的曝光、显影等工艺准备。具体过程是将晶圆装在片盒中放入涂胶机中，经过机械手臂的传送将晶圆送入CUP(涂胶)装置中的吸盘上，晶圆位于吸盘的中间位置，打开真空，电机带动吸盘转动时，胶臂带动滴胶管过来在晶圆中心滴胶，为了保证晶圆表面的胶薄厚均匀，所以在滴胶后晶圆要高速旋转，由于晶圆的旋转多于的光刻胶会被甩出粘在CUP外壳的内壁上污染CUP，所以我们要定期对CUP外壳进行清洗。

目前匀胶机CUP外壳的清洗需要将其全部拆除，拿出来用丙酮进行清洗，而拆除麻烦，清洗完毕后安装时要重新调整精度，这样就需要很长的时间，严重降低了机台产能，而且直接接触丙酮会对人身体造成影响。

实用新型内容

为了解决现有的CUP外壳不便于清洗的技术问题，本实用新型提供一种匀胶机的CUP外壳清洗装置。

本实用新型的技术解决方案如下：

一种匀胶机的CUP外壳清洗装置，其特殊之处在于：

包括密封罐、供气单元、第一管道、第二管道、环形管道；

所述密封罐通过第一管道与供气单元相连，密封罐通过第二管道与环形管道相连；

所述第一管道包括出气口，第二管道包括清洗液入口；

所述密封罐内装有清洗液；所述供气单元能够向密封罐提供压力气体，清洗液能够在所述压力气体的作用下由密封罐进入到环形管道；

所述环形管道上开有多个孔，环形管道固定在待清洗的CUP外壳的内壁上；

所述第一管道和第二管道上均设置有控制阀。

基于上述技术方案，本实用新型还做出以下优化和限定：

上述第一管道上的控制阀为两位三通阀。

上述环形管道固定在待清洗的CUP外壳内壁的上部。

上述环形管道上的孔与待清洗的CUP外壳的内壁相对。

上述孔的直径为0.3-0.5mm，间距为3-4mm。

上述孔均匀开在环形管道上。

上述出气口位于密封罐上部，清洗液入口位于密封罐底部。

上述待清洗的CUP外壳底部设有排液机构。

上述清洗液为丙酮，压力气体为压力氮气或压力空气。

上述第二管道和环形管道的材质均为PFA，构成所述环形管道的管道直径为4mm。

本实用新型具有以下技术效果：

1、经过改造后，CUP外壳的清洗变得简单容易，节省了清洗的时间，提高了机器的产能。

2、当清洗液采用丙酮时，通过本实用新型对CPU外壳进行清洗，避免了工作人员直接接触丙酮，减少了对身体的危害。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2是安装有环形管道的CUP外壳的俯视图。

附图标记：1-供气单元；2-两位三通阀；3-密封罐；4-通断阀；5-环形管道。

具体实施方式

本实用新型提供了一种匀胶机的CUP外壳清洗装置，包括密封罐、供气单元、第一管道、第二管道、环形管道；密封罐通过第一管道与供气单元相连，密封罐通过第二管道与环形管道相连；第一管道包括出气口，第二管道包括清洗液入口；密封罐内装有清洗液；所述供气单元能够向密封罐提供压力气体，清洗液能够在所述压力气体的作用下由密封罐进入到环形管道。

第一管道和第二管道上均设置有控制阀，第一管道上的控制阀用于控制供气单元与密封罐的连通或断开，第二管道上的控制阀用于控制密封罐与环形管道连通或断开，第一管道上的控制阀可以采用两位三通阀。

环形管道上开有多个孔，环形管道固定在待清洗的CUP外壳的内壁上。为了保证清洗效果，可以将环形管道固定在待清洗的CUP外壳内壁的上部，将环形管道上的孔设置在与待清洗的CUP外壳内壁相对的位置，孔的直径可以为0.3-0.5mm，间距可以为3-4mm，还可以将孔均匀开在环形管道上。

本实用新型的第一管道包括出气口，第二管道包括清洗液入口，可以将出气口设置在密封罐上部，清洗液入口设置在密封罐底部。

清洗液可以采用丙酮，压力气体可以为压力氮气或压力空气。当清洗液为丙酮时，第二管道和环形管道的材质可以均采用PFA，构成所述环形管道的管道直径可以为4mm。