[实用新型]无母篮清洗机

权利要求书

1.一种无母篮清洗机，包括机架（1）、安装于机架（1）上的清洗槽（4）和机械手（3），其特征在于：所述机械手（3）的悬臂（4）位于清洗槽（9）的上方，在悬臂（4）上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座（5），各抓取钩座（5）均固定设置有硅片篮抓取钩（6），所述清洗槽（9）内设置有硅片篮托盘（8）。

2.根据权利要求1所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述每一抓取钩座（5）上均设置有两排硅片篮抓取钩（6），一抓取钩座（5）左侧一排的硅片篮抓取钩（6）与另一抓取钩座（5）左侧一排的硅片篮抓取钩（6）构成抓取钩对，一抓取钩座（5）右侧的一排硅片篮抓取钩（6）与另一抓取钩座（5）右侧的一排硅片篮抓取钩（6）构成抓取钩对。

3.根据权利要求1或2所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述两抓取钩座（5）通过各自气缸（10）驱动。

4.根据权利要求1或2所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述两抓取钩座（5）由电机通过丝杆螺母机构驱动，丝杆螺母机构的丝杆两端螺旋旋向相反，丝杆两端分别旋接有相应旋向的螺母，两螺母分别固连于两抓取钩座（5）上。

5.根据权利要求1所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述硅片篮托盘（8）安装在清洗槽（9）内的托盘架（7）上。

6.根据权利要求1或5所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述硅片篮托盘（8）上设置有硅片篮定位卡槽（14）。

7.根据权利要求1所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述机架（1）上设置有传送带（2），该传送带（2）的传送方向与被清洗物料的传送方向相反。

8.根据权利要求1或2所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述机械手（3）上附设有物料篮检测装置（12），每一硅片篮（13）对应有一该物料篮检测装置（12）。

9.根据权利要求8所述的无母篮清洗机，其特征在于：所述物料篮检测装置（12）包括附设于硅片篮抓取钩（6）上的导杆（18），所述导杆（18）内封装有干簧管（15），所述干簧管（15）的导线（19）同样被封装并连向电控装置；在所述导杆（18）上还可活动地套装有浮球（16），所述浮球（16）内封装有磁铁零件（17）。