[实用新型]探针头

权利要求书

1.一种探针头，其特征在于，包含：

板体，其具有至少一个贯穿孔；

探针，至少部分的所述探针置于所述板体的所述贯穿孔中；以及

至少一个复合镀层，其包含：

金属层，其位于所述板体的所述贯穿孔中，且位于所述板体与所述探针之间；以及

多个润滑颗粒，其分散于所述金属层中。

2.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述多个润滑颗粒的材质为聚四氟乙烯。

3.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述金属层具有面对所述探针的外表面，以及相对所述外表面的内表面，所述多个润滑颗粒在所述金属层的所述外表面处的密度比所述多个润滑颗粒在所述金属层的所述内表面处的密度高。

4.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，还包含：

至少一个打底层，其介于所述金属层与所述板体之间。

5.如权利要求4所述的探针头，其特征在于，所述打底层与所述金属层的材质相同。

6.如权利要求4所述的探针头，其特征在于，所述打底层与所述金属层之间具有交界面。

7.如权利要求4所述的探针头，其特征在于，还包含：

多个种子，其介于所述打底层与所述板体之间。

8.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述贯穿孔为圆形贯穿孔或方形贯穿孔。

9.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，还包含：

支撑板，其相对所述板体设置，所述支撑板具有至少一个连通孔，至少另一部分的所述探针置于所述支撑板的所述连通孔中，所述探针具有接触端以电性连接待测元件，且所述接触端接近所述板体，远离所述支撑板。

10.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述板体的材质为陶瓷。

11.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述板体的材质为硅。

12.如权利要求11所述的探针头，其特征在于，还包含：

绝缘层，其介于所述金属层与所述板体之间或覆盖所述板体的所有表面。

13.如权利要求1所述的探针头，其特征在于，所述板体具有相对的两个主表面，所述贯穿孔贯穿这两个主表面；以及

所述探针头还包含至少一根分流导线，其位于上述两个主表面中的至少一个上，且所述分流导线电性连接至至少二个复合镀层。

14.如权利要求13所述的探针头，其特征在于，所述分流导线包含：

至少一个主分流部，其串联地电性连接至少二个所述多个复合镀层；以及

至少一个副分流部，其并联地电性连接所述主分流部，且所述副分流部的长度大于所述主分流部的长度。

15.如权利要求13所述的探针头，其特征在于，还包含：

支撑板，其相对所述板体设置，所述支撑板具有至少一个连通孔，至少另一部分的所述探针置于所述支撑板的所述连通孔中，所述探针具有接触端以电性连接待测元件，且所述接触端接近所述板体，远离所述支撑板。

16.如权利要求15所述的探针头，其特征在于，所述分流导线至少置于所述板体远离所述支撑板的所述主表面上或至少置于所述板体靠近所述支撑板的所述主表面上。