[实用新型]一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置

权利要求书

1.一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置，用于辅助将具有石英保护套的恒温区测量热偶从反应腔室底部工艺门的测量孔中垂直插入，其特征在于，包括： 

导向空心圆柱，其内环直径大于所述石英保护套的外径，其外径小于所述测量孔的内经，其高度小于所述恒温区测量热偶的最低轴向测量点； 

导向空心圆柱座体，与所述导向空心圆柱一端外侧壁垂直固接； 

其中，在拉温过程开始前/后，所述导向空心圆柱从所述反应腔室底部工艺门的测量孔中插入/卸除，以及，所述导向空心圆柱座体通过连接结构可拆卸地固设在位于所述反应腔室底部的工艺门上。 

2.如权利要求1所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述反应腔室底部工艺门的测量孔在拉温过程结束后，由法兰片遮挡，所述法兰片通过连接结构固定在所述反应腔室底部的工艺门上；需进行拉温过程时，所述法兰片从所述工艺门上卸下。 

3.如权利要求2所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述导向空心圆柱座体固设在位于所述反应腔室底部工艺门上的连接结构与所述法兰片固定在所述反应腔室底部工艺门上的连接结构相同。 

4.如权利要求1所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述导向空心圆柱座体的形状为与导向空心圆柱一体形成的环形裙边。 

5.如权利要求1-4任意一个所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述连接结构具有多个分布在所述导向空心圆柱座体上通孔，所述导向空心圆柱座体通过穿过所述通孔的螺接结构固接在所述工艺门上。 

6.如权利要求5所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述通孔为4个，该些通孔为以所述工艺门测量孔为轴心环形均匀分布在导向空心圆柱座体上。 

7.如权利要求1所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述导向空心圆柱座体与导向空心圆柱的材料为金属或陶瓷。 

8.如权利要求7所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述导向空心圆柱座体与导向空心圆柱的材料为不锈钢。 

9.如权利要求1所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述导向空心圆柱的高度小于100毫米。 

10.如权利要求1所述的恒温区测量热偶定位装置，其特征在于，所述导向空心圆柱具有镂空图案。