[实用新型]一种晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201420019389.X | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN203678772U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B1/04;B08B3/08;B08B3/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置至少包括：
设有第一流量调节阀的第一进液管道；
第二进液管道；
与所述第二进液管道分别通过第二、第三流量调节阀导通的第一管道和第二管道；
与所述第一进液管道、所述第一管道导通的第三管道；
与所述第二管道导通的第四管道，所述第二管道和所述第四管道之间设有第一阀门；所述第一管道与所述第四管道之间设有第二阀门。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二进液管道进液端设有加热器。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述加热器加热的温度为40℃～50℃。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第一进液管道中有柠檬酸溶液。
5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二进液管道中有去离子水。
6.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述柠檬酸溶液的浓度为20%～40%。
7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第三管道与所述第四管道自由端均设置有喷嘴。
8.根据权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第三管道与第四管道自由端设置的喷嘴之间设有收容晶圆的托槽。
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