[实用新型]晶盒盛放台有效

专利信息
申请号: 201420019587.6 申请日: 2014-01-13
公开(公告)号: CN203721693U 公开(公告)日: 2014-07-16
发明(设计)人: 杨艳全 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 盛放
【权利要求书】:

1.一种晶盒盛放台,用于盛放晶盒,其特征在于,所述盛放台包括:外部框架、圆柱销、至少一个圆柱销挡片、活动部件、至少一个感应器、至少一个顶杆以及至少一个卡槽手柄,其中,所述外部框架包括顶盘和底盘,所述圆柱销位于所述外部框架内,一端伸出所述外部框架的顶盘预定高度,另一端与所述底盘相连接,所述圆柱销挡片固定在所述圆柱销侧壁,所述感应器固定在所述活动部件侧壁,并在所述圆柱销被下压后与所述圆柱销挡片面相对,所述顶杆两端分别与所述外部框架的顶盘和底盘相固定,所述顶杆设有两个具有预定间距的卡槽,所述卡槽手柄位于所述活动部件内部,一端位于所述卡槽内,另一端伸出所述底盘。 

2.如权利要求1所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述卡槽手柄为2个,2个所述卡槽手柄之间通过一弹簧连接在一起。 

3.如权利要求2所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述顶杆为2个,分别位于所述活动部件相对的两侧。 

4.如权利要求3所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述顶杆的两端连有基座,所述顶杆30分别通过基座与所述顶盘和底盘进行连线。 

5.如权利要求4所述的晶盒盛放台,其特征在于,位于所述卡槽上方的顶杆设有第一弹簧,所述第一弹簧与位于所述顶盘的基座相连。 

6.如权利要求5所述的晶盒盛放台,其特征在于,位于所述卡槽下方的顶杆设有第二弹簧,所述第二弹簧与位于所述底盘的基座相连。 

7.如权利要求1所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述感应器为2个,分别位于所述圆柱销的两侧。 

8.如权利要求7所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述圆柱销挡片为2个,分别固定于所述圆柱销的两侧壁。 

9.如权利要求1所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述预定间距与所述预定高度数值相同。 

10.如权利要求9所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述预定高度范围是4mm~6mm。 

11.如权利要求1所述的晶盒盛放台,其特征在于,所述圆柱销的另一端与所述底盘通过一弹簧相连接。 

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