[实用新型]激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪

权利要求书

1.一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，该联测仪包括：激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪，具体结构如下：

联测仪内设置样品室、三通阀、质谱分析仪，透明密闭的样品室位于三通阀的上方，质谱分析仪位于三通阀的一侧，三通阀分别通过管道连接样品室、真空泵和质谱分析仪，真空泵位于联测仪的外侧，用于保持质谱分析仪和样品室的真空度，质谱分析仪通过防污染弯管与样品室连通；

样品室中水平设置可转动的待测样品台，待测样品台上均布被测样品，待测样品台的一侧设置用于将被测样品平移的机械手；

激光器置于联测仪顶部，激光器的激光束输出端与联测仪样品室顶部的耐高温高压玻璃窗口相对应，样品室顶部还设有用于向待测样品台添加被测样品的加样口。

2.按照权利要求1所述的激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，激光器为样品点式熔融热源-激光器，耐高温高压玻璃为铝硅酸盐玻璃。

3.按照权利要求1所述的激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，激光器为紫外调Q激光器。

4.按照权利要求1所述的激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，防污染弯管为金属微孔防污染弯管，其内设置微孔过滤网，微孔直径在0.2-1μm范围内。

5.按照权利要求4所述的激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，防污染弯管为快速接口拆卸式结构。

6.按照权利要求4所述的激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，在防污染弯管上加装真空计。