[实用新型]一种原子层薄膜沉积进气装置

权利要求书

1.一种原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于，包括：第一接头（1）、接管和第一导流管（9）；所述接管分别与所述第一接头（1）和所述第一导流管（9）连通，所述第一导流管（9）两端分别安装有第一堵盖（8）和第二堵盖（11），所述第一导流管（9）的下部沿其轴向分别开有多个第一排气孔。 

2.根据权利要求1所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：所述第一导流管（9）内设有第二导流管（10），所述第二导流管（10）的上部沿其轴向分别开有多个第二排气孔。 

3.根据权利要求2所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：所述第二堵盖（11）上设有楔形块，所述楔形块位于所述第二导流管（10）内。 

4.根据权利要求1所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：所述接管上分别设有第二接头（4）和卡套（6），所述卡套（6）通过螺纹与所述第二接头（4）连接。 

5.根据权利要求2所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：所述第一排气孔与所述第一堵盖（8）和所述第二堵盖（11）的距离以及所述第二排气孔与所述第一堵盖（8）和所述第二堵盖（11）的距离均为0.1mm-1mm。 

6.根据权利要求2所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：多个所述第二排气孔总面积为所述第二导流管（10）横截面积的0.5-0.9倍。 

7.根据权利要求2所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：多个所述第一排气孔总面积为所述第二导流管（10）横截面积的1-8倍。 

8.根据权利要求4所述原子层薄膜沉积进气装置，其特征在于：所述第二接头（4）和所述接管之间设有密封圈（5）。