[实用新型]升降式基板清洗机构

权利要求书

1.一种升降式基板清洗机构，用于清洗多个小尺寸基板，其特征在于，包含：

一框架；

一输送平台，设置于该框架；

一上清洗单元，设置于该框架，且该上清洗单元具有：

一第一控制件，设置于该框架；

一第一连动件，设置于该框架，并与该第一控制件连动；

一第一移动本体，活动套设于该第一连动件，并相对于该第一连动件进行移动；

一第一马达组件，设置于该第一移动本体；

一第一轴杆，枢设于该第一移动本体，并通过该第一马达组件来驱动旋转，且该第一轴杆高于该输送平台；及

多个第一刷毛，设置于该第一轴杆；以及

一下清洗单元，设置于该框架，且该下清洗单元具有：

一第二控制件，设置于该框架；

一第二连动件，设置于该框架，并与该第二控制件连动；

一第二移动本体，活动套设于该第二连动件，并相对于该第二连动件进行移动；

一第二马达组件，设置于该第二移动本体；

一第二轴杆，枢设于该第二移动本体，并通过该第二马达组件来驱动旋转，且该第二轴杆低于该输送平台；及

多个第二刷毛，设置于该第二轴杆。

2.如权利要求1所述的升降式基板清洗机构，其特征在于，该上清洗单元还包含：

一第三马达组件，设置于该第一移动本体；

一第三轴杆，枢设于该第一移动本体，并通过该第三马达组件来驱动旋转，且该第三轴杆高于该输送平台；及

多个第三刷毛，设置于该第三轴杆；

其中该第一轴杆与该第三轴杆水平排列。

3.如权利要求2所述的升降式基板清洗机构，其特征在于，该下清洗单元还包含：

一第四马达组件，设置于该第二移动本体；

一第四轴杆，枢设于该第二移动本体，并通过该第四马达组件来驱动旋转，且该第四轴杆低于该输送平台；及

多个第四刷毛，设置于该第四轴杆；

其中该第二轴杆与该第四轴杆水平排列。

4.如权利要求1所述的升降式基板清洗机构，其特征在于，该下清洗单元还包含：

一第四马达组件，设置于该第二移动本体；

一第四轴杆，枢设于该第二移动本体，并通过该第四马达组件来驱动旋转，且该第四轴杆低于该输送平台；及

多个第四刷毛，设置于该第四轴杆；

其中该第二轴杆与该第四轴杆水平排列。

5.如权利要求1至4中任一项所述的升降式基板清洗机构，其特征在于，该第一控制件与该第一连动件通过螺纹结构来连动，该第一移动本体通过螺纹结构相对于该第一连动件进行移动，该第二控制件与该第二连动件通过螺纹结构来连动，该第二移动本体通过螺纹结构相对于该第二连动件进行移动。