[实用新型]干燥装置及具有该干燥装置的清洗机

权利要求书

1.一种干燥装置，其特征在于，包括：水平设置的转盘；所述转盘包括底板和形成于所述底板周围的侧壁，所述底板和侧壁围成用于容置晶片容置件的空间；所述底板底部形成有用于带动所述转盘绕中心旋转的驱动轴；在所述侧壁内、且在所述底板中心垂直设置有定位柱；所述侧壁内表面上形成有用于卡合所述晶片容置件底部支脚的第一卡槽，所述定位柱侧面形成有用于配合所述第一卡槽固定所述晶片容置件的第二凹槽；所述定位柱呈正四棱柱状，所述定位柱的四个侧面上分别设置有所述第二凹槽，所述侧壁内表面分别设置有与每个所述第二凹槽相对的两个所述第一卡槽。 

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述定位柱内部形成有与所述晶片容置件外形相匹配的空腔。 

3.根据权利要求1-2任一所述的干燥装置，其特征在于，所述侧壁上设置有送气管，所述送气管上开设有用于朝所述侧壁内送入气体的送气口。 

4.根据权利要求1-2任一所述的干燥装置，其特征在于，所述底板上开设有排水通孔。 

5.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述驱动轴下方还设置有用于驱动所述驱动轴旋转的驱动装置。 

6.根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于，所述驱动装置为液压马达。 

7.一种清洗机，包括：如权利要求1-6任一所述的干燥装置。