[实用新型]一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空蒸镀设备，具体的说是涉及一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备。

背景技术

医药诊断用生物芯片的制备过程中，为了达到多样品点检查的目的，需在生物芯片基片表面修饰上一层高密度官能团的官能团。为了达到这一目的，就产生了真空蒸镀这一方法。在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。 蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。

实用新型内容

实用新型的目的：为了解决现在有技术的不足，本实用新型提供了一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备。

技术方案：一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，包括机体，所述机体内设有蒸镀室，所述蒸镀室下方设有蒸发室，所述蒸发室下方设有油浴箱，工件架设置于蒸镀室内，真空系统由高真空阀、滑阀泵、扩散泵、油增压泵、机械泵组成，所述电气控制系统，对上述组件供电和控制，所述设置于机体外部设置有控制柜及变压器。

作为优选，所述蒸镀室和蒸发室由保护玻璃管道相连。

作为优选，所述油浴箱内装有硅油，且带探温针的自动控温加热系统。

作为优选，所述工件架底部有四个滑轮，所述蒸镀室内设置有卡轮装置。

作为优选，所述真空系统设置于机体内、蒸镀室外，真空系统和蒸镀室之间由管道连接。

作为优选，所述电气控制系统中连接有所有组件的线路，电源开关设置于箱体的前方，风门调节旋钮设置于箱体顶部，且全由电气控制系统控制。

有益效果：本实用新型中的真空蒸镀设备，蒸镀效果好、官能团固定稳定、操作方便，且带有自动控温系统，减少了人力、物力。

附图说明

图1为本实用新型中真空系统结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例：

如图1、2所示，一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，包括机体7，所述机体7内设有蒸镀室8，所述蒸镀室8下方设有蒸发室9，所述蒸发室9下方设有油浴箱10，工件架11设置于蒸镀室8内，真空系统14由高真空阀2、滑阀泵1、扩散泵4、油增压泵5、机械泵6组成，所述电气控制系统16，对上述组件供电和控制，所述设置于机体7外部设置有控制柜17及变压器18；所述蒸镀室8和蒸发室9由保护玻璃管道12相连；所述油浴箱10内装有硅油19，且带探温针20的自动控温加热系统21；所述工件架11底部有四个滑轮22，所述蒸镀室8内设置有卡轮装置23；所述真空系统14设置于机体7内、蒸镀室8外，真空系统14和蒸镀室8之间由管道15连接；所述电气控制系统16中连接有所有组件的线路，电源开关24设置于箱体的前方，风门调节旋钮13设置于箱体顶部，且全由电气控制系统16控制。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。