[实用新型]光取向用偏振光照射装置

权利要求书

1.一种光取向用偏振光照射装置，其特征在于，具备：

照射单元，向所设定的照射区域照射偏振光；

台，载置基板；以及

台移动机构，通过使台向照射区域移动，使得向台上的基板照射偏振光，

作为台，设置有第一台和第二台这两个台，

台移动机构使第一台从设定于照射区域的一侧的第一基板搭载位置向照射区域移动，并且使第二台从设定于照射区域的另一侧的第二基板搭载位置向照射区域移动，

台移动机构在第一台上的基板经过照射区域之后使第一台返回到第一侧，并且在第二台上的基板经过照射区域之后使第二台返回到第二侧，

在位于第一基板搭载位置的第一台与照射区域之间确保第二台上的基板经过照射区域的量以上的空间，在位于第二基板搭载位置的第二台与照射区域之间确保第一台上的基板经过照射区域的量以上的空间。

2.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述照射单元在所述第一台和第二台的各台进行去路移动时和进行回路移动时这双方向各台上的基板照射偏振光。

3.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

在所述第一台和第二台的各台上设置有基板校准器，该基板校准器使所搭载的基板的朝向相对于被照射的偏振光的偏振轴成为规定的朝向。

4.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述台移动机构沿着所述第一台和第二台的移动方向具备导向构件，该导向构件兼用于所述第一台的移动的导向和所述第二台的移动的导向。

5.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述第一台和第二台的各台是具有吸附孔的多个销。

6.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述第一台和第二台的各台具备XYθ移动机构。

7.根据权利要求3所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述基板校准器具备校准传感器、XYθ移动机构及校准用控制部。