[实用新型]一种分子束外延大规模生产设备中的爪型衬底生长托板有效
| 申请号： | 201420043499.X | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203768485U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杜全钢;李维刚;谢小刚;姜炜;冯巍;郭永平;蒋建 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 215151 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 大规模 生产 设备 中的 衬底 生长 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子束外延大规模生产设备中的爪型衬底生长托板，其特征在于：该托板包括放置衬底片的爪型台阶(1)、放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)，三个台阶均为环形结构，托板中间为含有爪型台阶的圆形通孔；三个台阶为一个整体；放置衬底片的爪型台阶(1)由中心圆形通孔边缘的爪组成，所述中心圆形通孔边缘的爪与托板为一体结构；放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)在放置衬底片的爪型台阶(1)与限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)之间。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延大规模生产设备中的爪型衬底生长托板，其特征在于：该衬底托板由一完整的钼板通过机械加工而成，在钼板表面通过铣削加工形成三个台阶；三个台阶的高度及台阶半径依所添加衬底尺寸决定；放置衬底片的爪型台阶(1)的爪数量依所添加衬底尺寸决定。
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