[实用新型]一种分子束外延大规模生产设备中的衬底托板有效
| 申请号： | 201420043728.8 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203728962U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杜全钢;李维刚;谢小刚;姜炜;冯巍;郭永平;蒋建 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 215151 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 大规模 生产 设备 中的 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子束外延大规模生产设备中的衬底托板，其特征在于：该衬底托板包括衬底片的台阶（1）、阻挡热辐射圆环的台阶（2）、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶（3），三个台阶均为环形结构，该衬底托板为一圆形通孔；阻挡热辐射圆环的台阶（2）在衬底片的台阶（1）和限制阻挡热辐射圆环移动的台阶（3）之间；所述衬底片的台阶（1）、阻挡热辐射圆环的台阶（2）、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶（3）是以圆形通孔为中心的台阶结构。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延大规模生产设备中的衬底托板，其特征在于：该衬底托板由一完整的钼板通过机械加工而成，在钼板表面通过铣削加工形成三个台阶；三个台阶的高度及台阶半径依所添加衬底尺寸决定。
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