[实用新型]一种分子束外延大规模生产设备中带有切边的衬底生长托板有效
| 申请号： | 201420044141.9 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203768486U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杜全钢;李维刚;谢小刚;姜炜;冯巍;郭永平;蒋建 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 215151 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 大规模 生产 设备 带有 切边 衬底 生长 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子束外延大规模生产设备中带有切边的衬底生长托板，其特征在于：该托板包括放置衬底片的台阶(1)、放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)、切边(10)；所述托板的三个台阶为一个整体，该托板中间为一带直线切边的不规则通孔，该托板在一块完整钼板上通过机械加工方式形成；该带有切边的衬底生长托板的三个台阶均为环形，放置衬底片的台阶(1)环形结构为弧形和带有切边(10)直线的两种结构，切边(10)直线的尺寸由所需切边衬底直线尺寸决定，放置衬底片的台阶(1)的弧形与切边衬底弧形尺寸一致；放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)位于放置衬底片的台阶(1)和限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)之间；限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)为钼板表面。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延大规模生产设备中带有切边的衬底生长托板，其特征在于：所述衬底置于该带有切边(10)的衬底生长托板中间的带有直线边的不规则通孔内。
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