[实用新型]微观立体痕迹三维扫描显微镜

权利要求书

1.一种微观立体痕迹三维扫描显微镜，包括投影单元、成像单元和载物台，其特征在于：

投影单元，包括投影元件和投影臂，

成像单元，包括成像元件和成像臂，

载物台，为位置可调的三维移动平台，被测物置于载物台上。

2.根据权利要求1所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：所述投影臂的投影光路上分光设有观察被测物上立体痕迹的第一目镜，成像臂的成像光路上分光设有观察被测物上立体痕迹的第二目镜。

3.根据权利要求2所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：所述的投影臂包括投影目镜、第一变倍体和第一辅助物镜，所述的成像臂包括成像目镜、第二变倍体和第二辅助物镜。

4.根据权利要求3所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：所述的第一目镜与投影目镜通过第一分光棱镜藕合到第一变倍体，所述的第二目镜与成像目镜通过第二分光棱镜藕合到第二变倍体。

5.根据权利要求3所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：所述的投影元件包括光源和条纹图像发生器，光源发出的光依次经过条纹图像发生器、投影目镜、第一变倍体和第一辅助物镜将条纹图像投影至被测物上；成像元件包括条纹图像接收器，被测物上的条纹图像依次经过第二辅助物镜、第二变倍体及成像目镜成像于条纹图像接收器上。

6.根据权利要求1所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：所述的投影元件为投影机，包括外壳、设于外壳内的LED光源和DMD芯片，所述的成像元件为摄像机。

7.根据权利要求6所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：外壳内还设置有滤光片，滤光片设置在LED光源和DMD芯片之间。

8.根据权利要求7所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：外壳内还设置有第一聚光装置，第一聚光装置设置在LED光源和滤光片之间。

9.根据权利要求7或8所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：外壳内还设置有第二聚光装置，第二聚光装置设置在滤光片和DMD芯片之间。

10.根据权利要求6所述的微观立体痕迹三维扫描显微镜，其特征在于：摄像机连接有计算机，DMD芯片连接有计算机。