[实用新型]一种方形蓝宝石单晶炉热场结构有效
申请号: | 201420050091.5 | 申请日: | 2014-01-26 |
公开(公告)号: | CN203741458U | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方形 蓝宝石 单晶炉热场 结构 | ||
1.一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于它包括上隔热屏、侧隔热屏、下隔热屏、坩埚盖、以及由金属钨制作的方形坩埚、方形托盘、圆形支柱,直角铜导电板与钨棒连接而成的方形加热体结构,上隔热屏为钼隔热屏及氧化锆纤维砖保温层,侧隔热屏由内屏和外屏两部分组成,内屏为多层钼板的直角搭接结构,外屏为方形氧化锆纤维砖保温桶结构,侧隔热屏顶部搭放一层环形氧化锆纤维砖结构,下隔热屏由方形钼片隔热屏与氧化锆纤维砖保温层结构组成,且下隔热屏中心留有与圆形支柱直径相匹配的圆形通孔,方形坩埚内部各边均有弧形倒角,方形托盘底部有与支柱配合的圆形卡槽。
2.根据权利要求1所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的上隔热屏由不锈钢支架及相同尺寸的钼隔热屏和氧化锆纤维砖保温层组成,整体用钼螺栓和配套螺母连接固定,并在中心留有观察孔,钼隔热屏由方形钼片组成。
3.根据权利要求2所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的侧隔热屏顶部的环形氧化锆纤维砖结构由4~8块氧化锆纤维砖镶嵌拼接而成。
4.根据权利要求3所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的坩埚盖由多层尺寸相同的方形钼片用钼丝连接而成,钼片中心留有观察孔,且孔径由上到下逐渐减小。
5.根据权利要求4所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的侧隔热屏的内屏是由5~10层同轴的方形钼桶组成,每层钼桶由2片厚直角钼板搭接而成,并用钼丝进行连接固定,相邻钼桶间棱边处用同样弧度的钼片支撑,且相邻钼桶的搭接口部分不重叠。
6.根据权利要求5所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的侧隔热屏的外屏是由2~6块氧化锆纤维砖组成,相邻氧化锆纤维砖通过定位凹槽和突起固定,其拼接接口与内屏最外层钼桶接口不重合,外屏与内屏同高。
7.根据权利要求6所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的下隔热屏的方形钼片隔热屏由10~18层方形钼片通过钼丝连接而成,中心留有与圆形支柱相配合的圆形通孔。
8.根据权利要求7所述的一种方形蓝宝石单晶炉热场结构,其特征在于所述的方形加热体是由两块直角方形电极和数根钨棒连接而成,外形呈方形鸟笼状,底部中心留有穿过圆形支柱的方孔。
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