[实用新型]一种压力敏感器件管壳

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种压力敏感器件的管壳。 

背景技术

现有的压力敏感器件管壳主要有两种封装方式，一种是采用材料的线膨胀系数匹配原理，依靠金属表面生成的金属氧化物在牢固地附着在金属表面的同时,又能溶解到熔化的玻璃中,在金属氧化层与玻璃之间形成一个成分渐变的过渡层,该过渡层把玻璃和金属氧化层紧紧地粘结在一起,实现玻璃和金属的封接；以DM-308玻璃（一种含高硼成份的玻璃，线膨胀系数（20～300℃）4.7-5.0）作为绝缘材料，以铁镍钴玻封合金（牌号:4J29,执行标准:YB/T5231-1993，合金的线胀系数（20～400℃）4.6～5.2）作为支撑结构；在-60℃～+40O℃温度范围内具有一定的线膨胀系数匹配，能与DM-308玻璃进行牢固封接的管壳。这种方式的压力敏感器件管壳受铁镍钴玻封合金性能的约束，高温使用存在容易腐蚀、氧化等问题。 

另一种是采用压力封接原理，以铬镍不锈钢（牌号:1Cr18Ni9Ti,执行标准:GB/T1220-1992，合金的线胀系数（20～500℃）17.1～18.4）作为支撑结构；以DM-308玻璃（一种含高硼成份的玻璃，线膨胀系数（20～300℃）4.7-5.0）作为绝缘材料，利用铬镍不锈钢与DM-308玻璃线膨胀系数的差值，使得在高温烧结时尺寸匹配的铬镍不锈钢结构材料与DM-308玻璃在使用温度下，产生过盈压力，利用DM-308玻璃的耐压特性实现压力密封结构；由于铬镍不锈钢表面不能生成金属氧化物，不能形成一个成分渐变的过渡层,铬镍不锈钢表面与DM-308玻璃没有形成有效的化学键，密封功能是依靠铬镍不锈钢表面与DM-308玻璃之间形成小于介质分子直径的间隙，有效强度依靠铬镍不锈钢表面与DM-308玻璃之间的摩擦力。这种方式的压力敏感器件管壳主要受热机械应力的影响，热应力可能会导致器件在热环境下做出异常的反应，在极端情况下，还会对敏感结构造成永久的机械损伤。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种压力敏感器件管壳；以解决现有技术或者存在高温使用容易腐蚀、氧化，或者存在压力敏感器件管壳受热机械应力影响的问题。 

一种压力敏感器件管壳，它包括引线1、金属化层2、密封环3、焊料4、陶瓷体5、过渡层6和管座7，陶瓷体5固定在管座7上，陶瓷体5与管座7的连接面设置有金属化层2，陶瓷体5与金属化层2通过高温烧结成一体，金属化层2与管座7之间通过焊料4 的烧结作用形成过渡层6，引线1贯穿陶瓷体5，引线1穿出管座7方向的陶瓷体5外表面处设置有密封环3，密封环3与陶瓷体5之间通过焊料4烧结成一体，引线1与密封环3的内孔表面通过焊料4烧结成一体。 

本实用新型中多种成分相混合的过渡层6使得应力分布更加合理，提高了产品的抗高温能力，并且极大地改善了整体结构的稳定性，使产品得以在较恶劣的环境条件下工作；管座上烧结的陶瓷介电常数较小（一般ε≤10），有非常优良的高频特性而且具有优良的热传导性，适合高频设计，在航空、航天、雷达、无线通讯、光电子、MEMS等应用领域具有独特的技术优势。另外陶瓷体5的使用，提高了敏感器件的固有频率和稳定性。它具有体积小、重量轻、抗过载能力强、耐高温、抗振动、可靠性高、精度高、抗恶劣环境等特点。 

附图说明

图1是本实用新型采用陶瓷封装结构的压力敏感器件管壳的结构示意图。

图2是另一种采用陶瓷封装结构的压力敏感器件管壳的结构示意图，图2与图1中管座7的结构有所不同。 

具体实施方式

具体实施方式一：下面结合图1具体说明本实施方式。本实施方式的一种采用陶瓷封装结构的压力敏感器件管壳，它包括引线1、金属化层2、密封环3、焊料4、陶瓷体5、过渡层6和管座7，陶瓷体5固定在管座7上，陶瓷体5与管座7的连接面设置有金属化层2，陶瓷体5与金属化层2通过高温烧结成一体，金属化层2与管座7之间通过焊料4的烧结作用形成过渡层6，引线1贯穿陶瓷体5，引线1穿出管座7方向的陶瓷体5外表面处设置有密封环3，密封环3与陶瓷体5之间通过焊料4烧结成一体，引线1与密封环3的内孔表面通过焊料4烧结成一体。 

如图1所示。管座7上烧结的陶瓷体5介电常数较小（一般ε≤10），有非常优良的高频特性而且具有优良的热传导性，适合高频设计，在航空、航天、雷达、无线通讯、光电子、MEMS等应用领域具有独特的技术优势，为了实现与金属的管座7的密封连接，需要在高温下烧结钨作为过渡层，并通过镍或Ag-Cu焊料作为过渡材料与不同特性的金属的管座7烧结成密封结构，实现对SOI敏感芯片的支撑、保护、电气互联功能。