[实用新型]玻璃盖片激光划片装置有效
| 申请号： | 201420055689.3 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN203804424U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 郭良;潘传鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州兰叶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70;H01L27/146 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 激光 划片 装置 | ||
1.一种玻璃盖片激光划片装置，其特征在于它包括：
能够发出激光束(11)的激光光源，
对所述激光光源所发出的激光束(11)的激光功率进行调节的激光功率调节装置(21)；
用于调节所述激光束(11)的偏振态及偏振方向的装置，
使所述激光束会聚的激光会聚装置，
能够让由所述激光会聚装置会聚的激光焦点的位置沿竖直方向上下移动的Z向移动机构(31)，
以及用于固定晶圆的晶圆定位平台；
所述晶圆定位平台上设置有能够带动该晶圆定位平台在水平面内作旋转运动的旋转机构(28)、以及能够带动该晶圆定位平台在水平方向平移运动的X向移动机构(30)和Y向移动机构(29)。
2.根据权利要求1所述的玻璃盖片激光划片装置，其特征在于：所述激光光源为激光器(19)，且该激光器(19)能够发出脉冲宽度小于1ns的脉冲激光。
3.根据权利要求1所述的玻璃盖片激光划片装置，其特征在于：还包括功率计(22)，所述功率计(22)与所述激光功率调节装置(21)相连。
4.根据权利要求1所述的玻璃盖片激光划片装置，其特征在于：该玻璃盖片激光划片装置还包括便于划片操作者准确获知玻璃盖片的上表面位置的照明光源(25)、成像系统(26)和影像系统(27)，所述成像系统(26)和影像系统(27)相连。
5.根据权利要求1所述的玻璃盖片激光划片装置，其特征在于：所述激光会聚装置为激光聚焦镜(24)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州兰叶光电科技有限公司，未经苏州兰叶光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420055689.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种网络摄像头
- 下一篇：带翻边的复合材料机匣安装边加强环
