[实用新型]一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：包括一石英管，所述石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有分段加热装置，所述分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置，所述第一加热装置和第二加热装置下方设有滑轨，滑轨上设有可以在该滑轨上滑动的第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和第二滑块分别固定连接有第一电机和第二电机，第一电机和第二电机输出转轴均固定有锥齿轮，所述第一加热装置和第二加热装置上设有与该锥齿轮的齿纹啮合的斜齿圈，该锥齿轮转动时通过与斜齿圈啮合带动所述第一加热装置和第二加热装置绕石英管轴向旋转，所述滑轨两端设有两伸缩气缸，所述两伸缩气缸分别推动滑块第一滑块和第二滑块在滑轨上滑动，进而推动所述第一加热装置和第二加热装置相对所述石英管水平移动。

2.根据权利要求1所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：所述石英管输出端还连接有抽气装置，所述抽气装置由阀门和气泵组成，所述阀门两端通过导管分别与气泵和石英管输出端连接。

3.根据权利要求1所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：石英管的中部设有限位凸环，所述第一加热装置设置在限位凸环的左侧，所述第二加热装置设置在限位凸环的右侧，且所述第一加热装置和第二加热装置均为管式加热炉膛，所述石英管的输入端外露出所述第一加热装置的左侧，所述石英管的输出端外露出所述第二加热装置的右侧。

4.根据权利要求3所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：所述石英管的限位凸环上开设有配气环，所述配气环通过送气管道与充气系统连接，所述配气环上均匀设置有多个喷嘴。

5.根据权利要求1所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：所述的第一加热装置和第二加热装置均为气氛炉。

6.根据权利要求1所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：所述石英管输出端通过法兰连接一不锈钢导管一端，所述不锈钢导管上设有真空质量流量计，所述不锈钢导管另一端连接至所述真空系统。

7.根据权利要求1所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：所述气压调节器连接在不锈钢导管中部，所述气压调节器包括一单向阀，所述单向阀输入端连接该不锈钢导管，所述单向阀输出端连接有一橡胶导管，所述橡胶导管输出口浸没在一锥形瓶内。

8.根据权利要求7所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：所述单向阀由密封法兰、过压阀、弹簧和橡皮圈组成，所述密封法兰连接不锈钢导管，所述弹簧连接密封法兰和过压阀，所述过压阀和密封法兰连接处设有橡皮圈，过压阀在弹簧张力下紧压密封法兰。

9.根据权利要求1所述的一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：还包括一计算机控制系统，所述计算机控制系统包括一中央处理器、I/O 接口模块、A/D 转换器、存储器、液晶显示器和若干传感器，所述若干传感器分别设置在加热装置、石英管、充气系统、真空系统和气压调节器上，并经A/D 转换器转换后再通过I/O 接口模块与中央处理器输入端相连接，所述存储器通过地址总线与中央处理器的输入端连接，所述液晶显示器通过并行接口连接中央处理器的输出端。