[实用新型]一种多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置

权利要求书

1.一种多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，包括引入多晶硅还原尾气的进气引管、冷凝器、第一收集器、第二收集器、排气引管、第一流量计、第二流量计、第三流量计，所述进气引管上设置有所述第一流量计，用于得到总流量Q，所述进气引管与所述冷凝器的一端连接，所述冷凝器的另外一端与用于收集冷凝液的所述第一收集器连接，所述第一收集器再通过导管与用于盛放碱液的所述第二收集器连接，所述导管上设置有所述第二流量计，用于得到流量Q₁，所述第二收集器与所述排气引管连接，所述排气引管上设置有所述第三流量计，用于得到流量Q₂。 

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，所述进气引管上设置有用于控制所述进气引管与所述冷凝器连通的进样阀。 

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，所述冷凝器为螺旋冷凝管或直形冷凝管。 

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，还包括计算单元，所述计算单元分别与所述第一流量计、所述第二流量计、所述第三流量计电连接，所述第一流量计的读数为Q，所述第二流量计的读数为Q₁，所述第三流量计的读数为Q₂，所述计算单元得到所述第二流量计和所述第三流量计的差值信号为(Q₁-Q₂)，并计算出氯化氢的摩尔含量为(Q₁-Q₂)/Q。 

5.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，所述计算单元为减法控制器。 

6.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，还包括显示单元，所述显示单元与所述计算单元电连接，所述显示单元用于显示所述计算单元计算出的所述氯化氢的摩尔含量为(Q₁-Q₂)/Q。 

7.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，还包括报警单元，所述报警单元与所述计算单元电连接，所述计算单元内预设有氯化氢的摩尔含量的上限值和下限值的预设值，当所述计算单元计算出的氯化氢的摩尔含量超过预设值时，则所述计算单元发送报警信号给所述报警单元，所述报警单元发出报警信号。 

8.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，还包括尾气收集器，该尾气收集器与所述排气引管连接，所述尾气收集器用于收集从所述排气引管排出的尾气。 

9.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，所述进气引管与多晶硅还原炉的排气口连通。 

10.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，所述冷凝器的冷凝温度为：-20～28℃。