[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域，更具体地说，涉及一种多晶硅铸锭炉。

背景技术

在晶体硅铸锭时，硅料盛放在石英坩埚里，在铸锭炉中经过抽真空、高温熔化、长晶、退火、冷却等工艺最后形成纯度很高的晶体硅锭。在生产过程中，坩埚内温度时影响铸锭后晶体硅的质量的一个重要参数。

参考图1，图1为现有常见的一种多晶硅铸锭炉的结构示意图，包括：炉体；设置在所述炉体内的隔热笼3；设置在所述隔热笼3内的坩埚4。其中，所述炉体包括：上炉体1以及下炉体2，所述下炉体2的炉体壁内设置有冷却系统。设有外围保护层的坩埚4设置在定向凝固块6的上表面，所述定向凝固块6用于控制坩埚4的温度，使得坩埚内的硅液按照设定的方向结晶。所述定向凝固块6通过贯穿所述隔热笼3底部的石墨支撑腿5固定设置在所述隔热笼3内。

在多晶硅铸锭工艺中，保证每一个工艺阶段的温度恒定是一个多晶硅铸锭的一个重要质量标准。隔热笼为热源提供隔热作用，其保温性能的好坏决定多晶的质量的高低。特别是融化和长晶阶段，隔热笼内垂直的温度梯度和平稳的横向温度梯度是理想的柱状多晶硅生长的良好环境。

通过上述可知，需要采用耐腐蚀抗老化的石墨支撑腿5对所述坩埚4以及定向凝固块6进行支撑固定。发明人发现，石墨材料是良好的热导体，石墨支撑腿5良好的导热性能在铸锭过程中会将大量热量传递到下炉体2，并通过冷却系统将热量带走，导致热量的浪费。因此，现有的多晶硅铸锭炉的热量利用率较低。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉，提高了热量的了利用率。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多晶硅铸锭炉，所述多晶硅铸锭炉包括：

炉体；

设置在所述炉体内的隔热笼；

设置在所述隔热笼内的坩埚以及定向凝固块，所述坩埚位于所述定向凝固块的上表面；

用于支撑所述坩埚与所述定向凝固块的支撑腿；

其中，所述支撑腿贯穿所述隔热笼的底部，所述支撑腿的下端固定在所述炉体的底部，所述支撑腿上端与所述定向凝固块之间设置隔热块。

优选的，在上述多晶硅铸锭炉中，还包括：

包围所述支撑腿隔热保护层。

优选的，在上述多晶硅铸锭炉中，所述隔热保护层为石墨硬毡或是石墨软毡。

优选的，在上述多晶硅铸锭炉中，所述支撑腿的导热系数小于石墨材料的导热系数。

优选的，在上述多晶硅铸锭炉中，所述隔热块为石墨硬毡或是石墨软毡。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的多晶硅铸锭炉包括：炉体；设置在所述炉体内的隔热笼；设置在所述隔热笼内的坩埚以及定向凝固块，所述坩埚位于所述定向凝固块的上表面；用于支撑所述坩埚与所述定向凝固块的支撑腿；其中，所述支撑腿贯穿所述隔热笼的底部，所述支撑腿的下端固定在所述炉体的底部，所述支撑腿上端与所述定向凝固块之间设置隔热块。本技术方案所提供的多晶硅铸锭炉在定向凝固块与支撑腿之间设置有隔热块，通过所述隔热块能够大大减少热量通过所述支撑腿散失，提高了热量的利用率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中常见的一种多晶硅铸锭炉的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种多晶硅铸锭炉的结构示意图；

图3为图2所示多晶硅铸锭炉的局部放大图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

正如背景技术部分所述，石墨材料是良好的热导体，石墨支撑腿良好的导热性能在铸锭过程中会将大量热量传递到下炉体，并通过冷却系统将热量带走，导致热量的浪费。因此，现有的多晶硅铸锭炉的热量利用率较低。