[实用新型]静电吸附装置

权利要求书

1.一种静电吸附装置，包括正静电片（1）和负静电片（2），其特征是正静电片（1）中设置有第一碳电极（3），负静电片（2）中设置有第二碳电极（4）。

2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征是所述正静电片（1）上设置有第一齿尖（1.1），负静电片（2）上设置有第二齿尖（2.1），第一齿尖（1.1）与第二齿尖（2.1）相向设置。

3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征是所述正静电片（1）和负静电片（2）构成空气通道（5），第一齿尖（1.1）与第二齿尖（2.1）位于空气通道（5）中。

4.根据权利要求1至3任一所述的静电吸附装置，其特征是所述正静电片（1）和负静电片（2）分别为添加有半导体的塑料制成。

5.根据权利要求4所述的静电吸附装置，其特征是所述正静电片（1）与负静电片（2）之间设置有中间件（6）；该中间件（6）的一端与正静电片（1）相接，中间件（6）的另一端与负静电片（2）相接触；或者，中间件（6）的一端与负静电片（2）相接，中间件（6）的另一端与正静电片（1）相接触。