[实用新型]一种蓝宝石晶体生长热场结构有效
申请号: | 201420065653.3 | 申请日: | 2014-02-14 |
公开(公告)号: | CN203728963U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 黄荣峰;李聪聪;黄雅莹 | 申请(专利权)人: | 闽能光电集团有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
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地址: | 361009 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 结构 | ||
1.一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:该热场结构包括位于同一中心线的支撑座、生长箱及密封盖,其中:
支撑座,其位于地面之上,并对所述生长箱形成支撑构架;
生长箱,其位于支撑座上端面且外侧套有感应线圈,该生长箱包括中部具有容置空间的箱体、坩埚及模具,所述箱体固定于支撑座上,所述坩埚下方具有两支撑环,该两支撑环在坩埚与箱底之间形成坩埚的支撑构架,所述模具放置于灌有氧化铝原料的坩埚内,而坩埚还具有与其匹配的坩埚盖,该坩埚盖设置有模具让位孔;
密封盖,其扣设于生长箱上,该密封盖中部设置有阶梯状通孔,而该通孔内设置有籽晶杆机构,所述籽晶杆机构一端伸至于模具上方,该籽晶杆机构另一端与陶瓷杆连接,该陶瓷杆伸出于密封盖外;
所述密封盖内设置有多个锥形通孔,该锥形通孔从密封盖底部对称延伸至密封盖外侧且内径逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述箱体包括箱底及箱壁,所述箱壁扣设与箱底上,而箱底上设置有与该箱壁内径一直的两个氧化锆块,所述两个氧化锆块相互叠加放置,所述坩埚通过支撑环放置于两叠加设置的氧化锆块之上;所述箱壁内侧依次设置至有锆环及发热体,锆环及发热体均位于两个氧化锆块之上,所述发热体包括发热体盖,而所述籽晶杆机构一端穿过发热体盖的中孔伸至于模具上方。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述坩埚下方的支撑环、发热体下方与氧化锆块的之间分别设置有小垫块。
4.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述箱壁从外至内依次为石英桶及软炭毡体,所述软炭毡体为多层软炭毡叠加形成,而软炭毡(层数是否有限制,如有限制请提供层数范围及层数最佳值)。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述感应线圈为环形线圈,该感应线圈与生长箱之间具有(补充:感应线圈与生长箱之间的距离)缝隙,该感应线圈两端弯折至感应线圈上方且呈平行排列。
6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述密封盖包括保温罩及炭毡组,所述保温罩扣设于生长箱上端面上,而炭毡组贴敷于保温罩设置,所述炭毡组上端面设置有软炭毡盖。
7.根据权利要求6所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述炭毡组包括多个叠加中层炭毡及顶部炭毡(中层炭毡数量否有限制,如有限制请提供层数范围及层数最佳值),所述软炭毡盖、顶部炭毡及中层炭毡中央均设置有通孔且内径依次减小,进而形成阶梯状籽晶杆机构容置通道。
8.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述籽晶杆机构及陶瓷杆与生长箱位于同一中心线上,所述籽晶杆机构上端通过杆状连接扣与陶瓷杆连接。
9.根据权利要求8所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述籽晶杆机构包括籽晶杆及设置于籽晶杆一端的籽晶头。
10.根据权利要求9所述的一种蓝宝石晶体生长热场结构,其特征在于:所述籽晶头包括反射屏钼片、反射屏钨片、夹头及籽晶,所述籽晶竖直固定于夹头上,而夹头固定于反射屏钨片下方,所述反射屏钼片设置于反射屏钨片上方,所述反射屏钼片与反射屏钨片间隔设置并通过两侧的小套筒串起,并固定于籽晶杆上。
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